RIE (reaktivní iontové leptání) je klíčovou technikou pro výrobu mikroelektroniky a polovodičů. Zařízení RIE vyžadují ke správnému fungování plyny, jako je kyslík, dusík, směs nitridu/hydridu a sírový fluorid. Každý z těchto plynů plní při leptání materiálů v mikroskopickém měřítku jedinečnou funkci.

Velkoobchodní zařízení pro reaktivní iontové leptání

QTH Hledání dobrých nabídek na zařízení RIE je obtížné, ale existuje několik míst, kde se můžete podívat. Nejlepší volbou je prohledat různé online trhy průmyslového zařízení. Weby obvykle mají několik různých prodejců, což vám umožňuje porovnávat ceny a získat nejlepší nabídky. Další vynikající možností jsou odborné veletrhy. Výrobci a odběratelé se zde setkávají a někdy můžete najít slevy na nejnovější technologie RIE.

Běžné problémy s reaktivním iontovým leptáním

Během provozu dochází u zařízení RIE k výskytu řady běžných problémů. Hlavním zdrojem starostí jsou samotné plyny. Občas může dojít k pulzujícímu toku plynu, což má za následek nerovnoměrné leptání. Plynová rovnováha plynů, jako je dusík a vodík, může ovlivnit kvalitu leptání materiálu. To může vést k chybám ve finálním výsledku, což nikdo nechce.

Optimalizace reaktivního iontového leptání při 95 % N2 a 5 % H2

Reaktivní iontové leptání (RIE) je cenná technika zpracování materiálů v Zařízení pro zpracování drátu směsi vzorovacího plynu pro proces leptání, například 95 % dusíku a 5 % vodíku, za účelem zlepšení výsledků. Tato kombinace může pomoci vytvořit čisté, ostré vzory na materiálech. Zde je návod, jak tento proces využít maximálně.

Co je plyn sírový fluorid v reaktivním iontovém leptání

Existuje několik významných výhod použití zařízení na balení čipů jako zásobovací plyn v reaktivním iontovém leptání. Za prvé, SF6 je skutečně vynikající při leptání materiálů, jako je křemík a oxid křemičitý, které jsou široce používány v elektronice. To znamená, že při použití sirouhlíku můžete dosáhnout čistých a přesných vzorů potřebných pro malé elektronické součástky.

Kde se dozvědět více o reaktivním iontovém leptání

Pokud se chcete dozvědět více o Vložné zařízení do terminálů existuje řada zdrojů, které vám mohou pomoci. Zaprvé se můžete podívat na internet. Existuje také mnoho webových stránek, fór a blogů zaměřených na techniku a inženýrství. Tyto platformy obvykle obsahují články napsané odborníky na RIE, kteří zde sdílejí své názory a zkušenosti s touto metodou.