projekt |
Specifikace |
výše uvedené |
||
1 |
Přehled zařízení |
Název zařízení: Plně automatický jednomodový vývojový stroj |
||
Model zařízení: MD-2C2D6 |
||||
Specifikace zpracovávaných keramických desek: kompatibilní s normálními deskami o velikosti 4/6 palců |
||||
Průvodní proces jednomodového vývoje: Řezání košíku → centrování → jednomodový vývoj (kapání → jednomodový vývoj → odstranění okrajů, zadní mytí) → horká deska → studená deska → umístění do košíku Průvodní proces vývoje: Řezání košíku → centrování → vývoj (vývojové řešení → destilovaná voda, zadní mytí → sušení dusíkem) → horká deska → studená deska → umístění do košíku |
||||
Celkové rozměry (přibližně): 2100mm (Š) * 1800mm (H) * 2100mm (V) |
||||
Rozměry chemické skříně (přibližně): 1700(Š) * 800(H) * 1600mm (V) |
||||
Celková hmotnost (přibližně): 1000kg |
||||
Výška pracovní desky: 1020 ± 50mm |
||||
2 |
Kasetová jednotka |
Množství: 2 |
||
Kompatibilní velikost: 4/6 palců |
||||
Detekce kasety: detekce mikropřepínačem |
||||
Detekce vytahování: Ano, reflektivní senzor |
||||
3 |
robot |
Množství: 1 |
||
Typ: Roboter s dvojitou paží na vakuové adsorpce |
||||
Stupeň volnosti: 4-osa (R1, R2, Z, T) |
||||
Materiál prstů: keramika |
||||
Metoda fixace podložky: vakuumová adsorpční metoda |
||||
Mapovací funkce: Ano |
||||
Přesnost pozicování: ± 0,1mm |
||||
4 |
Centrovací jednotka |
Množství: 1 sadu |
Volitelné optické zarovnání |
|
Metoda zarovnání: mechanické zarovnání |
||||
Přesnost centrování: ± 0,2mm |
||||
5 |
Jednotka pro rovnoměrné nanášení lepidla |
Množství: 2 sady (následující jsou konfigurace pro každou jednotku) |
||
Rychlost otáček hlavního výsostupku: -5000ot/min~5000ot/min |
nosečný hliník |
|||
Přesnost otáčení vývěsníku: ± 1ot/m (50ot/m~5000ot/m) |
||||
Minimální úprava rychlosti otáčení vývěsníku: 1ot/m |
||||
Maximální zrychlení otáčení vývěsníku: 20000ot/m/s |
nosečný hliník |
|||
Kapající rameno: 1 sada |
||||
Trasa trysky fotorezistu: 2 trasy |
||||
Průměr trysky fotorezistu: 2,5mm |
||||
Isolace fotorezistu: 23 ± 0,5 ℃ |
volitelné |
|||
Zvlážňovací tryska: Ano |
||||
RRC: Ano |
||||
Vyrovnávací nádrž: Ano, 200ml |
||||
Metoda aplikace lepidla: volitelné centrální a skenovací aplikování |
||||
Paže pro odstranění hran: 1 sada |
||||
Průměr trysky pro odstranění hran: 0,2mm |
||||
Monitorování proudu kapaliny pro odstranění hran: plovoucí regulér |
||||
Rozsah proudu kapaliny pro odstranění hran: 5-50ml/min |
||||
Oprchlující potrubí: 2 způsoby (každé 4/6 palec s jednokanálovým systémem) |
||||
Monitorování proudu pro oprchlování: plovoucí regulér |
||||
Rozsah proudu kapaliny pro oprchlování: 20-200ml/min |
||||
Způsob pevného držení čipy: malá oblast vakuového přísavu Chuck |
||||
Alarm pro vakuumní tlak: digitální vakuumní tlakový senzor |
||||
Materiál držáku: PPS |
||||
Materiál poháru: PP |
||||
Monitorování výfuku poháru: digitální tlakový senzor |
||||
6 |
Jednotka na rozvoj |
Oblouk: ano |
||
Množství: 2 sady (následující jsou konfigurace pro každou jednotku) |
||||
Rychlost otáček hlavního výsostupku: -5000ot/min~5000ot/min |
nosečný hliník |
|||
Přesnost otáčení vývěsníku: ± 1ot/m (50ot/m~5000ot/m) |
||||
Minimální úprava rychlosti otáčení vývěsníku: 1ot/m |
||||
Maximální zrychlení otáčení vývěsníku: 20000ot/m/s |
nosečný hliník |
|||
Rozvojní paže: 1 sada |
||||
Rozvojní potrubí: 2-způsobné (vějířovitý/tunelovitý tryska) |
||||
Filtrace rozvoje: 0,2um |
||||
Řízení teploty rozvoje: 23 ± 0,5 ℃ |
volitelné |
|||
Rozsah toku vývojového roztoku: 100~1000ml/min |
||||
Režim pohybu vývojového ramene: pevný bod nebo skenování |
||||
Vývojové rámě: 1 sada |
||||
Potrubí pro dezionizovanou vodu: 1 obvod |
||||
Průměr trysky pro dezionizovanou vodu: 4mm (vnitřní průměr) |
||||
Rozsah toku dezionizované vody: 100~1000ml/min |
||||
Potrubí pro sušení nitrogenem: 1 obvod |
||||
Průměr trysky pro nitrogen: 4mm (vnitřní průměr) |
||||
Rozsah toku nitrogenu: 5-50L/min |
||||
Monitorování toku vývojáku, dezionizované vody a nitrogenu: plovoucí tokoměr |
||||
Oprchlující potrubí: 2 způsoby (každé 4/6 palec s jednokanálovým systémem) |
||||
Monitorování proudu pro oprchlování: plovoucí regulér |
||||
Rozsah proudu kapaliny pro oprchlování: 20-200ml/min |
||||
Způsob pevného držení čipy: malá oblast vakuového přísavu Chuck |
||||
Alarm pro vakuumní tlak: digitální vakuumní tlakový senzor |
||||
Materiál držáku: PPS |
||||
Materiál držáku: PPS |
||||
Materiál poháru: PP |
||||
Monitorování výfuku poháru: digitální tlakový senzor |
||||
7 |
Jednotka na lepidlo |
Množství: 2 |
volitelné |
|
Teplotní rozsah: místnostní teplota~180 ℃ |
||||
Rovnoměrnost teploty: Místnostní teplota~120 ℃± 0,75 ℃ 120,1℃~ 180℃ ± 1,5℃ (Odstranit 10mm od okraje, s výjimkou díry pro vysouvání pinu) |
||||
Minimální úpravní částka: 0,1 ° C |
||||
Metoda řízení teploty: úprava PID |
||||
Rozsah výšky PIN: 0-20mm |
||||
Materiál PIN: tělo SUS304, PINová hlavička PI |
||||
Pečovací mezera: 0,2mm |
||||
Alarm při překročení teploty: alarm pro pozitivní a negativní odchylku |
||||
Způsob dodávky: bublení, 10 ± 2ml/min |
||||
Vakuum v komoře: -5-20KPa |
||||
8 |
Jednotka horké desky |
Množství: 10 |
||
Teplotní rozsah: místní teplota~250 ℃ |
||||
Rovnoměrnost teploty: Místnostní teplota~120 ℃± 0,75 ℃ 120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ 180.1℃~250℃ ±2.0℃ (Odstranit 10mm od okraje, s výjimkou díry pro vysouvání pinu) |
||||
Nejmenší úpravná hodnota: 0.1 ℃ |
||||
Metoda řízení teploty: úprava PID |
||||
Rozsah výšky PIN: 0-20mm |
||||
Materiál PIN: tělo SUS304, PINová hlavička PI |
||||
Pečovací mezera: 0,2mm |
||||
Alarm při překročení teploty: alarm pro pozitivní a negativní odchylku |
||||
9 |
Jednotka chladné desky |
Množství: 2 |
||
Teplotní rozsah: 15-25 ℃ |
||||
Metoda chlazení: chlazení konstantní teplotou s cirkulačním pumpou |
||||
10 |
Poskytování chemikálií |
Úložiště fotorezistu: pneumatická lepidlová puma * 4 sady (Volitelná nádrž nebo elektřická lepidlová puma) |
||
Objem výdaje lepidla: maximálně 12ml za sezení, přesnost ± 0.2ml |
||||
Odstranění okrajů / zpětné mytí / DODAVATEL RRC: tlaková nádrž 18L * 2 (automatické doplnění) |
||||
Monitorování hladiny tekutiny pro odstraňování okrajů / zpětné mytí / RRC: fotoelektrický senzor |
||||
Monitorování hladiny fotorezistu: fotoelektrický senzor |
||||
Odpad rovnoměrného lepidla: odpadní nádrž 10L |
||||
Dostupnost dezaktivátoru: tlaková nádrž 18L * 4 (Uchovávána v chemickém skřínku mimo stroj) |
||||
Dostupnost deionizované vody: přímé dodávání z továrny |
||||
Vývoj monitorování hladiny kapaliny: fotoelektrický senzor |
||||
Odběr vývojových odpadů: odběr průmyslových odpadů |
||||
Dostupnost lepidla: 10L tlaková nádrž * 1, 2L tlaková nádrž * 1 |
||||
Monitorování hladiny lepidla: fotoelektrický senzor |
||||
11 |
řídicí systém |
Způsob řízení: PLC |
||
Rozhraní pro činnost člověka a stroje: 17 palců dotyková obrazovka |
||||
Bezzdrojové zásobníky energie (UPS): Ano |
||||
Nastavení šifrovacích oprávnění pro operátory zařízení, techniky, administrátory |
||||
Typ signální věže: červená, žlutá, zelená 3 barvy |
||||
12 |
Indikátory spolehlivosti systému |
Uptime: ≥95% |
||
MTBF: ≥ 500h |
||||
MTTR: ≤ 4h |
||||
MTBA： ≥24h |
||||
Fragmentační koeficient: ≤ 1/10000 |
||||
13 |
Ostatní funkce |
Žluté světlo: 4 sady (poloze: nad jednotkou na míchání lepidla a vývoj) |
||
THC: Ano, 22.5 ℃± 0.5 ℃, 45% ± 2% |
volitelné |
|||
FFU: Třída 100, 5 sad (procesní jednotka a oblast ROBOT) |
||||
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Všechna práva vyhrazena
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
