Chemické leptání Depozice Reakce Iontové leptací zařízení RIE , China Chemické leptání Depozice Reakce Iontové leptací zařízení RIE Manufacturers, Suppliers, Factory

Popis výrobku

RIE Reakční iontový leptací stroj

Výzkumné aplikace RlE reakčních iontových leptacích strojů v oblasti výroby polovodičů a mikro-nano zpracování se projevují zejména při zpracování nanostruktur, leptání nových materiálů, výrobě složitých zařízení a průlomech v mezioborových technologiích. Jejich jádrová hodnota spočívá v dosažení vysoké přesnosti a selektivity při odstraňování materiálu prostřednictvím koordinované kontroly fyzikálního bombardování a chemických reakcí. Podporují průzkum hranice polovodičových technologií a inovace zařízení.

Vlastnosti výbavy:

1. Vysoká přesnost a anizotropie: Umí vyhotovit grafiku se strmými bočními stěnami a přesnými rozměry.
2. Dobrá uniformita a reprodukovatelnost: vhodné pro velké série.
3. Široká využitelnost materiálů: Volbou různých plynových kombinací lze leptat různé materiály (polovodiče, dielektrika, kovy atd.).
4. Vysoký poměr selektivity: Může přesně leptat konkrétní materiály bez způsobení významného poškození jiných materiálů.
5. Čištění: Suchý proces, který zabraňuje problémům, jako je čištění a likvidace odpadních tekutin způsobených mokrým leptáním.

Specifikace

Konfigurace systému:

Elektrické topení	Komora (jednoduchá komůrka)
Elektrické topení		N/A
Typ spodní elektrody	242mm
Rozsah teploty procesu	-20-100°C
Plazmový zdroj	600W-1000W
Rozměr tlakového čidla procesu	100mtorr
Vakuový systém	Molekulové vývěvy, suché čerpadlové systémy, procesní komora
Počet vývrtových komor	Jednoduchá dutina
Sklíčky	Typ	Velikost/mm	Materiál
Sklíčky		N/A	8、6、4、3、2
Detektor koncového bodu	MOŽNOST
Indukčně vázaná plazma	MOŽNOST

Technický parametr:

Etčírna materiál	Si、Sio, Sin，Sau，Pt，Al
Rychlost vývrtu	>20nm/min (Si02 materiál) Rychlosti různých materiálů se liší
Distribuované řízení	>85°
Způsob načítání	Otevřené zatížení
Plynovod řízený MFC	Jsou dostupné šest nádrží s plynem
Možnost chlazení zezadu heliem	Ano
Rozhraní člověk-stroj	Ovládání dotykovou obrazovkou
Operační režim	Plně automatický režim, neplně automatický režim
Výběr a konfigurace automatických zařízení	Můžete si vybrat mezi importovanými a domácími díly

Případy použití

Balení a dodání

Společenský profil

Od roku 2014 je Minder-Hightech prodejním a servisním zástupcem v oboru polovodičového a elektronického průmyslového zařízení. Zavazujeme se poskytovat zákazníkům vyšší kvalitu, spolehlivost a komplexní řešení pro strojní zařízení. Naše značkové produkty se dnes rozšířily do většiny průmyslově vyspělých zemí po celém světě, čímž pomáháme zákazníkům zvyšovat efektivitu, snižovat náklady a zlepšovat kvalitu výrobků.

Často kladené otázky

1. O ceně:
Všechny naše ceny jsou konkurenceschopné a vyjednávatelné. Cena se liší v závislosti na konfiguraci a složitosti přizpůsobení vašeho zařízení.

2. O vzorku:
Můžeme vám poskytnout služby pro výrobu vzorků, ale můžete zaplatit nějaké poplatky.

3. O platbě:
Po potvrzení plánu musíte nejprve zaplatit úvodní platební splátku a továrna začne připravovat zboží. Po připraveném zařízení a po zaplacení zbytku ho odesíláme.

4. O dodávce:
Po dokončení výroby zařízení vám pošleme akceptační video a můžete také přijít na místo pro kontrolu zařízení.

5. Instalace a ladění:
Po příjezdu zařízení do vaší továrny můžeme vydat inženýry na instalaci a ladění zařízení. Za tuto službu vám poskytneme samostatné cenové nabídky.

6. O záruce:
Naše zařízení má záruku 12 měsíců. Po skončení období záruky, pokud je nějaká součást poškozena a je třeba ji nahradit, účtuji pouze cenu náhrady.

7. Záruční a pozáruční servis:
Všechny stroje mají záruční dobu více než jeden rok. Naši techničtí inženýři jsou vždy online a mohou vám poskytnout služby týkající se instalace, uvedení do provozu a údržby zařízení. Pro speciální a velké zařízení můžeme poskytnout služby instalace a uvedení do provozu přímo na místě.