


Vafli ölçüsü |
4”~ 8” vafer |
Vaferin kalinliyi |
100~750 mikon |
Vafer növü |
Si, SiC, GaN və ya başqa materiallar |
Filmin növü |
Göy filmlər, UV filmlər Genişlik: 230 ~ 300 mm Uzunluq: 100 m Kalinliq: 0.05 ~ 0.2 mm |
Disk nəqlçisi halqası |
6", 8" DISCO |
Yükləmə və boşaltma üsulu |
Əllə disk/halqanın yerləşdirilməsi və çıxarılması |
Film pozisionasiya dəqiqliyi |
±0.5mm 6” və 8” vaferlər üçün standart 6” və 8” vafer plataları |
Vakuum pompa |
Minder-Hightech |
Elektrostatik idarəetmə |
Deionizasiya ventilyatoru |
Kontrol modulu |
PLC idarəetməsindən asılı olaraq, 10” dokunmatik ekran ilə |
Təhlükəsizlik Qoruyucuları |
İşıq perdesi müdafiəsi və acil durdurma düyməsi ilə təmin edilib |
Enerji təchizatı voltajı |
Fazlı AC 220V, 16A |
فشرده ائي |
0.45~0.6MPa, axın dərəcəsi 70L/min |
Mashin korpusu |
Ağ metal vəziyyətli plastik kaplama |
Həcmi |
850mm (en)*1750mm (derinlik)*1970mm (yüksəklik) |
Xalis Çəki |
480kg |


Hüquqlar qorunur © Guanzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Bütün hüquqlar qorunur