Reaktiv İon Yüzləmə Sistemi RIE , China Reaktiv İon Yüzləmə Sistemi RIE Manufacturers, Suppliers, Factory

Məhsul Təsviri

Reaktiv iyon etçilmesi (RIE)

Reaktiv iyon etçiləməsi (RIE) mikro-nano struktur hazırlamaq üçün istifadə edilə bilər və bu, yarıqatıqların hazırlanması proses texnologiyalarından biridir. RIE etçiləmə prosesində plazmadakı müxtəlif aktiv partikullar materialın səthi ilə əlaqəyə girər və volatil məhsullar yaradır. Bu məhsullar materialın səthinən götürülür və nəhayət materialın səthinin anizotrop mikrostruktur etçilənməsi başa çatır. Reaktiv iyon etçilənici (RIE) seria məhsulları düz zəkətli kapasitiv uyğun plazma texnologiyasına əsaslanır və birləşmiş kristal silis, polikristallik silis, silis nitrid (SiNy), silis oksid (SiO), kvarts (Quartz) və silis karbid (SiC) kimi silis materiallarının şablonlu etçilənməsinə uygundur; fotoresist (PR), PMMAHDMS və digər orqanik materialların şablonlaşdırılması və material deq stratifikasiya etçilənməsi üçün istifadə oluna bilər; nikel (Ni), xrom (Cr) və keramika kimi metal materiallarının fiziki etçilənməsi üçün istifadə oluna bilər; otaq temperaturasında indium fosfid (InP) materialının etçilənməsi üçün də istifadə oluna bilər. Bəzi daha yüksək proses tələbləri olan etçilənmələr üçün isə ICP RIE etçilənməsi də istifadə edilə bilər.

Əsas konfiqurasiya:

1. Nəzarət örnek ölçüsü: 4, 8, 12 inc, müxtəlif kiçik ölçülü örneklərlə uyğundur, təyinatlı nəzarət dəstəklənir
2. RF plazma güc diapazonu: 300/500/1000 W seçimi mövcuddur;
3. Molekulyar pompa: 620/1300 //s seçimi mövcuddur, korroziyaya qarşı pompa kompleksi də seçilməlidir;
4. Əvvəllik pompa: mexaniki yağ pompa/yuxarı pompa seçimi mövcuddur;
5. Basinq idarəetmə: 0 ~1 Torr seçimi mövcuddur; basinq idarəetmə režimi konfigurasiyası da seçilməlidir
6. Proses gazı: eyni vaxtda 9 proses gazı quraşdırılabilir; temperatur: 10 dərəcə ~ otaq temperaturu/-30 dərəcə~ otaq temperaturu/mükafatlı temperatur diapazonu,
7. İstifadəyə görə arxa helium soğutması konfiqurasiya edilə bilər;
8. Aşırılıq qarışıqlığına qarşı çıxarılabilən koruyucu revçə;
9. Yükləmə-kilid seçimi var;
10. Tam otomatik bir düyməli idarəetmə sistemi;

RIE uyğun materiallar:

1. Silikon əsaslı materiallar: silikon (Si), silikon dioksid (SiO2), silikon nitrid (SiNx), silikon karbid (SiC)
2. III-V materiallar: indiyum fosfat (InP), galliyum arsenid (GaAs), galliyum nitrid (GaN)
3. II-VI materiallar: kadmium telürür (CdTe)
4. Magnit materiallar/alloy materiallar
5. Metal materiallar: aluminyum (AI), altun (Au), tungsten (W), titan (Ti), tantal (Ta)
6. Organik materiallar: fotoresist (PR), organik polimer (PMMA/HDMS), org

RIE ilə bağlı tətbiqlər:

1. Silikon əsaslı materialların, nanoşablonları, massiv şablonları və adasyon şablonlarının etçilmesi;
2. Indium fosfidinin (InP) otaq temperatüründə etçilmesi, optik kommunikasiyalarda InP əsaslı cihazların şablonlu etçilmesi, daxildən dalga yolu strukturalları, rezonans mağara strukturalları və qattı strukturlar;
3. SiC materialların etçilmesi, mikrodalga cihazları, güç cihazları və s. üçün uyğundur;
4. Fiziki şahlatma etçilmesi, nikel (Ni), xrom (Cr) kimi bəzi metallar, keramik və digər kimyəvi şəkildə etçilə bilməz maddələrə tətbiq olunur və maddələrin modelə görə etçilmesi fiziki bombordirment vasitəsilə başa çatır;
5. Organik maddələrin etçilmesi, fotoresist (Photo Resist), PMMA, HDMS, Polimer kimi organik maddələrin etçilmesi, təmizlənməsi və silinməsinə tətbiq olunur;
6. Çip fayl analizi (Failure Analysis-FA) üçün de-katmanlı etçilme;
7. İki ölçülü maddələrin etçilmesi: W, Mo iki ölçülü maddələri, grafen;

Müraciət Nəticələri:

Proyekt konfigurasiyası və maşın struktur şəkli

Məhsul	MD150-RIE	MD200-RIE	MD200C-RIE
Məhsulun ölçüsü	≤6 inc	≤8 inc	≤8 inc
RF güc mənbəyi	0-300W/500W/1000W Ayarlanır, avtomatik uyğunlaşdırma
Molekulyar pompa	-/620(L/s)/1300(L/s)/Custom			Antiseptik620(L/s)/1300(L/s)/Custom
Əvvəlki pompa	Mekanik pompa/yuxarı pompa			Yuxarı pompa
Proses basıncı	Nəzarətsiz basınç/0-1Torr nəzarətli basınç
Qaz Tipi	H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Custom (Ən çox 9 kanal, hər hansı kəsilməz və zehirli qaz yoxdur)			H2⁄CH4⁄O2⁄N2⁄Ar⁄F6⁄CF4⁄ CHF3⁄C4F8⁄NF3⁄Cl2⁄BCl3⁄HBr (Ən çox 9 kanal)
Qaz aralığı	0~5sccm⁄50sccm⁄100sccm⁄200sccm⁄300sccm⁄500sccm⁄üzvləşdirilən
YüklüQapı	Bəli/Hayır			Bəli
Nümunə temperaturu idarəetməsi	10°C~Otaq temperatürünə⁄-30°C~100°C⁄Üzvləşdirilən			-30°C~100°C⁄Üzvləşdirilən
Arxa helium soğutma	Bəli/Hayır			Bəli
Proses maşınçısı kaplama	Bəli/Hayır			Bəli
Maşınçısının divarları temperaturu idarəetməsi	Yox/Dövri~60/120°C			Dövri temperatur-60/120°C
İdarəetmə Sistemi	Avtomatik/təyin edilmiş
Ətirəl material	Silikon əsaslı: Si/SiO2/SiNx··· IV-IV: SiC Magnet material/alloy material Metal material: Ni/Cr/Al/Au..... Organik material: PR/PMMA/HDMS/Organik filmler......			Silikon əsaslı: Si/SiO2/SiNx...... III-V (qeyd 3): InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI (qeyd 3): CdTe...... Magnet material/alloy material Metal material: Ni/Cr/A1/Au...... Organik material: PR/PMMA/HDMS/organik filmler...

Laboratoriyalar və Zavkların Gerçək Şəkilləri

Qablaşdırma və Çatdırılma

Şirkət Profili

Minder-Hightech, semiqondüktor və elektron məhsul endustrisi təchizatında satış və xidmət nümayəndisidir. 2014-cü ildən bu yana şirkət, müştərilərə Ən Yaxşı, Güvəndirici və Bir Məkanlı Həllər təklif etməyə çalışır.

SSS

1. Qiymət haqqında:
Bizim bütün qiymətlərimiz rəqabətçi və müzakirə edilə bilən dir. Qiymət, cihazınızın konfiqurasiyasından və xüsusilaşdırma mürəkkəbliyindən asılı olaraq dəyişir.

2. Nümunə haqqında:
Siz üçün nümunə hazırlama xidməti göstərə bilərik, lakin bir neçə ödəniş tələb edilə bilər.

3. Ödəniş haqqında:
Plan təsdiqləndikdən sonra, əvvəlcə bizə avans ödəməlisiniz və zavqat məhsul hazırlaşdırmağa başlayacaq. Təsnif hazır olunca və balansı ödədikdən sonra, göndəririk.

4. İstedak haqqında:
Əməliyyat mühafizə cihazlarının hazırlanması bitdikdən sonra sizə qəbul videolarını göndərəcəyik və siz də cihazları yoxlamaq üçün buraya gəlməyə bilərsiniz.

5. Quraşdırma və ayarlamalar:
Cihazlar zavquzunuza çatdıqdan sonra, biz inžinərləri göndərmək olar ki, onlar cihazları quraşdırıb səhv yoxlasın. Bu xidmət haqqı üçün size fərqli qiymət təklif edəcəyik.

6. Garanti haqqında:
Bizim cihazlar 12 aylıq zəmanət müddəti ilə gəlir. Zəmanət müddəti keçib daha sonra, əgər hansısa hissələr pozulub və əvəz edilməsi lazımdırsa, yalnız maliyet qiymətini götürəcəyik.

Ana səhifə

Biz haqqında

MH Texnikası

Həll

Dünya Genişləndən İstifadəçilər

Video

Əlaqə

Reaktiv İon Yüzləmə Sistemi RIE

Reaktiv iyon etçilmesi (RIE)

Əsas konfiqurasiya:

RIE uyğun materiallar:

RIE ilə bağlı tətbiqlər:

Digər məhsullar

MD-FS Seriyası Kapasitor burma maşını

MD-FDS Seriyası Avtomatik Kapasitor burma maşını

MD-EFS seriyası Kapasitor Yumuşdırma Maşını

MD-EDFS Seriyası film kondensatorları burmağçı maşını

Sorğu

Articles

Products

Get In Touch

Reaktiv İon Yüzləmə Sistemi RIE

Reaktiv iyon etçilmesi (RIE)

Əsas konfiqurasiya:

RIE uyğun materiallar:

RIE ilə bağlı tətbiqlər:

Digər məhsullar

Sorğu

Articles

Products

Get In Touch

Əlaqəyə keçin