Giriş:
Maqnetronlu sputterinq örtük cihazı — standartlaşdırma, modullaşdırma və fərdiləşdirmə xüsusiyyətlərinə malik olan, bizim şirkətimiz tərəfindən müstəqil olaraq hazırlanmış, qiymətcə sərfəli maqnetronlu sputterinq örtük avadanlığıdır. Maqnetron hədəfləri 1 düym, 2 düym və 3 düym ölçülərində təqdim olunur; müştərilər örtülməsi nəzərdə tutulan substratın ölçüsünə görə uyğun hədəfi seçə bilərlər; enerji mənbəyi 500 Vt yüksək güclü daimi cərəyan (DC) enerji mənbəyidir və bu, yüksək enerjili metal sputterinq örtüyü üçün istifadə oluna bilər. Təcrübə tələblərinə uyğun olaraq, müxtəlif materialların örtülmə əməliyyatını həyata keçirmək üçün başqa DC və ya RF enerji mənbəyi spesifikasiyaları da seçilməlidir.
Tətbiq:
Ferroelektrik nazik təbəqələrin, keçirici təbəqələrin, leqir təbəqələrin, yarımkeçirici təbəqələrin, keramika təbəqələrinin, dielektrik təbəqələrinin, optik təbəqələrin birqat və ya çoxqat hazırlanmasında istifadə edilə bilər.