Giriş:
Maqnetronlu sputterinq örtük avadanlığı — şirkətimiz tərəfindən hazırlanmış xüsusi laboratoriya örtük cihazıdır. Bu avadanlıq daimi cərəyan (DC) və radio tezlikli (RF) enerji mənbəyi ilə təchiz edilə bilər. Güc aralığı 500 Vt-dən 1000 Vt-a qədərdir. Ənənəvi plazma sputterinqinə nisbətən maqnetronlu sputterinq yüksək enerji, yüksək sürət, yüksək çöküntü sürəti və nümunənin temperaturunun az qalxması kimi üstünlüklərə malikdir. Maqnetron hədəfi suyla soyudulan qatmanla təchiz edilmişdir. Su soyuducu hədəf səthində istiliyin toplanmasını qarşısını almaq üçün effektiv şəkildə istilik götürür, beləliklə maqnetron örtüyü uzun müddət sabit işləyə bilər. Sıx dizayn nəticəsində həcm və performans balansı təmin edilmiş, görünüşü gözəl və funksiyaları tamamlanmışdır. Tam avadanlıq toxunma ekranı ilə və daxilində bir düymə ilə örtük proqramı ilə idarə olunur; bu da istismarı asanlaşdırır və laboratoriyada nazik təbəqələrin hazırlanması üçün ideal avadanlıqdır.
Tətbiq:
Ferroelektrik nazik təbəqələrin, keçirici təbəqələrin, leqir təbəqələrin, yarımkeçirici təbəqələrin, keramika təbəqələrinin, dielektrik təbəqələrinin, optik təbəqələrin birqat və ya çoxqat hazırlanmasında istifadə edilə bilər.