
| Model  | MDTS-WT2200  | 
| Yüngül axların sayı  |  2 | 
| İş dəzgahlarının sayı  | 3, indeks metodu  | 
| Ərazi dövirininqarışı  | Hava spindallarının sayı: 2  Spindal motoru: 7.5kW dəyişsiz frekvensi motoru Sürət: 0~6000rpm, addımlaşmaqla ayarlanır Çarpıcı spesifikasiya: Φ203mm Çarpıcı növü: almaz çarpıcı | 
| Çarpıcı təchizat sistemi  | Miqdar: 2 qurğu  Yükləmə sistemi idarəetmə üsulu: LM raily və şariklu šerit kombinasiya Sürüş motoru: servomotor Ən kiçik yükləmə sürəti: 0.1um/sec Ən yüksək yükləmə sürəti: 50mm/sec | 
| İŞ MASASI    | Miqdar: 3, indeks rejimi  Asan motoru: Servo motor Sürət: 0~300dəq/min, addımlarsız ayarlanır Əlçatma üsulu: Vakuum əlçatması | 
| İş masası dövirli heyrana  | Sürüş növü: servomotor  Dönüş diapazonu: 0~240° Pozisiya forması: sensör köməkli pozisiyalaşdırma | 
| Avtomatik qalınlıq  ölçü sistemləri | Ölçü vəziyyəti: IPG kontaktlı onlayn real-vaxt ölçümü  Ölçü başları sayını: 2 Ölçü sensoru: 0.1um səviyyəsindəki sensor | 
| Avtomatik yükləmə\  boşaltma sistemi | Korpus növü: 6-8inci Kaset, 25 slov  Avtomatik yükləmə\boşaltma üsulu: wafer manipulyatorunun istifadəsi ilə inci waferlərin zədə olmadan tranспорasiyası təmin edilir Vafər kalinliyi: 150um-1000um | 
| İş masası temizləmə funksiyası  | Temizləmə üsulu: Yulduz şəkli cilalama & DI suyu+hava iki maddi şəklində temizləmə  | 
| Avtomatik temizləmə/  quruma sistemi | Temizləmə: DIW nişanlı temizləmə  Qurutma üsulu: Fışırlandırma +qurutma Tezlik: maksimum 1000rpm addımlarla dəyişdirilə bilər | 
| Statik silinmə sistem  | Ion çubuğu yaxud orion fan  | 
| Spindl soğutucu  | Temperatur: 18-22°C  Akış həcmi: 4~8L/min | 
| İdarəetmə Sistemi    | Kontrol sistem: PC kontrol sistemi, məşq ekranı, 3-rəngli alarm işığı  Çin dili/İngilis dili insan-maqina interfeysi | 
| Ən böyük disk ölçüsü  | Ən çox 8 inc ilə uyğun  | 
| Sürət aralığı    | 0~6000 DQD  | 
| Z oxu hərəkəti    | 160mm  | 
| Z oxu qidalanma sürəti  | 0.1~100mkm/sec  | 
| Z-oxu sürətli geri çekilmə sürəti  | 50mm/sec  | 
| Z-oxu düzənləməsi  | 0.1um  | 
| Onlayn qabaq qalınlığı ölçmə siyahısı  | 0~1800um  | 
| Onlayn qabaq qalınlığı ölçmə düzəliyi  | 0.1um  | 


Hüquqlar qorunur © Guanzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Bütün hüquqlar qorunur