Giriş:
Bu avadanlıq iki hədəfli maqnetron çöküntü alətidir. O, iki maqnetron hədəfi və iki dəst DC enerji təchizatı ilə təchiz edilmişdir. Onun köməyi ilə çoxtəbəqəli keçirici metal filmi çöküntüləşdirilə bilər. Eyni zamanda, bu avadanlıq iki hissədən ibarətdir: əsas kamera və keçid kamerası. Keçid kamerası maqnit itələyici çubuqla təchiz edilmişdir və iki kamera arasına vakuum qapısı quraşdırılmışdır. İstifadəçi nümunələri keçid kamerasında yükləyə və əsas kamerada sputterinq zamanı ön-vakuum yarada bilər. Əsas kamerada sputterinq tamamlandıqdan sonra nümunə maqnit itələyici çubuq vasitəsilə əsas kameranın nümunə platformasına itələnə bilər. Bu dizayn əsas kameranın vakuumlanma və atmosferə açılma sayını azaldır; bu da yalnız effektiv şəkildə vaxt qazandırmır, həm də daha yaxşı lokal vakuum təmin edir və çöküntü keyfiyyətini effektiv şəkildə artırır.
Tətbiq:
Ferroelektrik nazik təbəqələrin, keçirici təbəqələrin, leqir təbəqələrin, yarımkeçirici təbəqələrin, keramika təbəqələrinin, dielektrik təbəqələrinin, optik təbəqələrin birqat və ya çoxqat hazırlanmasında istifadə edilə bilər.