EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
Təqdimat: Bu avadanlıq əsasən paslanmayan poladdan hazırlanmış vakuum kamerası, maqnetron püskürmə hədəfi, buxarlaşma ilə örtük qoyan qurğu, nümunələrin yerləşdirilməsi üçün nümunə masası, vakuum nasos qrupu, vakuum ölçmə cihazı, havanın daxil olma sistemi və idarəetmə sistemi olmaqla yeddi əsas hissədən ibarətdir. Avadanlığın əsas bloku toxunma ekranı ilə idarə olunur və temperatur idarəetmə cihazı ilə nəzarət edilir. Onun rəqəmsal parametr interfeysi və avtomatlaşdırılmış işləmə rejimi istifadəçilərə mükəmməl bir tədqiqat və inkişaf platforması təmin edir. Vakuum kamerası alt hissədə hədəf olan dizayna malikdir və nümunə masası isə isidilmə və fırlanma funksiyalarına malikdir; bu da örtük qoyulmasının daha bərabər olmasını təmin edir. Avadanlığın vakuum əldə etmə sistemi iki mərhələli vakuum nasos qrupundan ibarətdir. Birinci mərhələ nasosu yüksək sürətli mexaniki nasosdur və normal təzyiqdən aşağı vakuum səviyyəsinə çatma müddətini effektiv şəkildə qısaltır. İkinci mərhələ nasosu isə yüksək pompalama sürətinə və daha sürətli vakuum əldə etmə sürətinə malik turbo molekulyar nasosdur. Ümumi vakuum əldə etmə sistemi təmiz və sürətlidir.
Tətbiq sahəsi: Ferroelektrik incə təbəqələr, keçirici təbəqələr, ərinti təbəqələri, yarımkeçirici təbəqələr, keramika təbəqələri, dielektrik təbəqələr, optik təbəqələr və s. hazırlamaq üçün istifadə edilə bilər.
