Giriş:
Bu avadanlıq əsasən paslanmayan poladdan hazırlanmış vakuum kamerası, maqnetron püskürmə hədəfi, buxarlanma ilə örtük qoyan qurğu, nümunələrin yerləşdirilməsi üçün nümunə masası, vakuum nasos qrupu, vakuum ölçmə cihazı, havaya giriş sistemi və idarəetmə sistemi olmaqla təşkil olunub. Avadanlığın əsas bloku toxunma ekranı ilə idarə olunur və temperatur idarəetmə cihazı ilə nəzarət olunur. Onun rəqəmsal parametr interfeysi və avtomatlaşdırılmış işləməsi istifadəçilərə mükəmməl bir elmi-tədqiqat platforması təqdim edir. Vakuum kamerası alt hissədə hədəf dizaynına malikdir və nümunə masası isə qızdırma və fırlanma funksiyalarına malikdir ki, bu da örtük qoyulmasının daha bərabər olmasını təmin edir. Avadanlığın vakuum yığılması sistemi iki mərhələli vakuum nasos qrupundan ibarətdir. Birinci mərhələ nasosu yüksək sürətli mexaniki nasosdur və normal təzyiqdən aşağı vakuum səviyyəsinə çatma müddətini effektiv şəkildə qısaltır. Əsas nasos isə yüksək pompalama sürətinə və daha sürətli vakuum yığılmasına malik turbo molekulyar nasosdur. Ümumi vakuum yığılması sistemi təmiz və sürətlidir.
Tətbiq:
Ferroelektrik nazik təbəqələrin, keçirici təbəqələrin, leqir təbəqələrin, yarımkeçirici təbəqələrin, keramika təbəqələrinin, dielektrik təbəqələrinin, optik təbəqələrin birqat və ya çoxqat hazırlanmasında istifadə edilə bilər.