
UV işığı mənbəyinin mərkəzi dalğa uzunluğu |
405nm |
İşıqlandırma bərabərliyi |
90%-dən çox |
Minimum xüsusiyyət eni |
0.5um |
Tək keçiddə yazma sahəsinin işığına məruz qalması |
0.16*0.16mm (@0.5um) |
Yazma sürəti |
80 mm²/dəq (1 mkm xüsusiyyət xətti eni) |
Dəstəklənən şəkil formatları |
DXF, GDS, bmp, png və s. |
Konfiqurasiya |
Əsas versiya |
Peşəkar versiya |
|
İşıq Mənbəyi |
Yüksək güclü LED: 405 nm |
||
DMD çipi |
DLP6500 |
||
Tək sahəli işıqlandırma sahəsi |
0.16*0.16mm (@0.5um), 0.4*0.4mm (@0.7um), 0.8*0.8mm (@1um), 1.6*1.6mm (@2um) |
||
Kamera |
Böyük sahəli mikroskop kamerası (ölçü ölçməni dəstəkləyir) |
||
Minimum bərabər məsafəli xətt eni |
0,8 µm |
0.5μm |
|
Qoşulma dəqiqliyi |
±0,3 µm |
±0,3μm |
|
Üst-üstə qatlamaq dəqiqliyi |
±0,5 µm |
±0.5μm |
|
Yazma sürəti |
20 mm²/dəq (1 µm element xətt eni) |
80 mm²/dəq (1µm element xətt eni) |
|
Hərəkət mərhələsi |
Yüksək dəqiqlikli xətti mühərrik (təkrarlanan yerləşdirmə dəqiqliyi ±0,25 µm), səviyyələndirmə mexanizmi, əl ilə fırlanan mərhələ |
Yüksək dəqiqlikli xətti mühərrik (təkrarlanan yerləşdirmə dəqiqliyi ±0,25 µm), səviyyələndirmə mexanizmi, elektrik fırlanan mərhələ |
|
Obyektiv linzası dəyişdiricisi |
Əl ilə obyektiv linzasının dəyişdirilməsi |
Mühərriklə təchiz edilmiş obyektiv linzasının dəyişdirilməsi |
|
Fokuslama modulu |
CCD şəkil avtofokusu |
Lazer aktiv fokuslanması |
|
Dəstəklənən vifer ölçüləri |
4 santimetr |
4 düym/8 düym |
|
Nümunənin qalınlığı |
0-10 mm |
0-10 mm |
|















Hüquqlar qorunur © Guanzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Bütün hüquqlar qorunur