Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Qiymət al

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Ev Səhifəsi
Biz Haqqımızda
MH Texnikası
Həll
Dəhliz İstifadəçiləri
Video
Bizimlə Əlaqə
Ana səhifə> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • MDICP-5000F Tam avtomatik ICP qırılma maşını
  • MDICP-5000F Tam avtomatik ICP qırılma maşını
  • MDICP-5000F Tam avtomatik ICP qırılma maşını
  • MDICP-5000F Tam avtomatik ICP qırılma maşını

MDICP-5000F Tam avtomatik ICP qırılma maşını

Model: MDICP-5000F

Pulsuz təklif alın
MDICP-5000F Tam avtomatik ICP qırılma maşını
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory

İcra məcmuəsi:

Texnika iki otaqli vakum sistemidir. Bir otaq enjeksiya nümunə alma odasıdır və digəri isə qırılma odasıdır. Enjeksiya nümunə alma odası və qırılma odasının arasına vakum blok quraşdırılmışdır və enjeksiya nümunələrinin manipulyator vasitəsilə köçürülmesi olunur.
Aparat öncəsənə vacum sistemi, qaz yolu sistemi, elektrik sistemi, idarəetmə sistemi, soxutma sistemi, filmin təchiz və götürmə mekanizmi, xəbərdarlıq sistemi və s. ilə əmələ gəlməkdir.

Vakuum Sistemi:

Sistem, 600 L/s çəkis sürəti ilə molekulyar pompa + L/s çəkis sürəti ilə daxili vacum yuxu pompa etibarlı olaraq etçama odasını yüksək vacuma çəkir. Molekulyar pompa və etçama odası arasına elektrikli dinamik basinq nəzarət vəlvsi qoyulub. Daxili yuxu pompa, etçama odasının əvvəlki pompa və molekulyar pompanın ildi pompa idi. Başqa bir mexaniki pompa L/s çəkis sürəti ilə nümunə odasını vacuma çəkirdi. Mexaniki pompa və vacum odası və molekulyar pompa arasındakı birləşməyi stainless çelik balqaları ilə edir və elektromagnit pnevmatik blok vəlvi qurulub.

Sabit basinq nəzarət sistemi

Əşya, aşağı akış sabit basınç idarəetmə sistemi ilə təchiz edilib və hava çıxarım boru şəbəkəsində elektriklə idarə olunan dəyişdirilə bilən klapan quraşdırılmışdır. Film manometri (import hissələri) vasitəsilə bu klapan idarə edilir və vakum odası sabit basınğa çatmaq üçün təmin edilir, bu da proses stabilliyini artırır.

Sabit basinq nəzarət sistemi

Əşya, aşağı akış sabit basınç idarəetmə sistemi ilə təchiz edilib və hava çıxarım boru şəbəkəsində elektriklə idarə olunan dəyişdirilə bilən klapan quraşdırılmışdır. Film manometri (import hissələri) vasitəsilə bu klapan idarə edilir və vakum odası sabit basınğa çatmaq üçün təmin edilir, bu da proses stabilliyini artırır.

Gaz şəbəkə sistem

Avtomatik uyğunlaşdırma olan iki RF güc mənbəsi.

Xəbərdarlıq sistemi

Təsnifin təhlükəsizliyinə görə tələblər.
Texniki xüsusiyyətlər
Ad
Spc
Brend
Nömrə/Set
Qeyd
Çıxarma odası, hava çıxarım boru şəbəkəsi, nəzarət pəncərəsi, rezerv inteqrasiya interfeysi və s.
Standart
JSWN
1
Korroziasız
Karkas, elektrik qabı, sigillər, standart hissələr və s.
Standart
JSWN
1
Etçilma odasının örtüsünü yüksəltmə sistem
Standart
JSWN
1
Korroziasız
Etçilma elektroda və soğutma sistemi
Standart
JSWN
1
Korroziasız
Molekulyar pompa (pompanma sürəti 600 L/s)
FF620/150
KYKY
1
Korroziasız
Giriş suş pompa (pompanma sürəti 9 L/s)
XDS-35I
EDWARDS
1
Korroziasız
Mekanik pompa (pompanma sürəti 9 L/s)
TRP-36
BWVAC
1
Elektrikli nəzarətli kapalı və açılır valv
DCQ-150
JSWN
1
Korroziasız
Hava balqası ilə işləyən dayanma valvi
KF40
JSWN
3
Korroziasız
Filmlə ölçüm
KF16
INFICON
1
Korroziasız
Kütlü müxtəlif idarəetmə üsulu
D07
Sevenstar
4
Korroziasız
Hava diaqram vəlvi
1/4" VCR
-
4
Korroziasız
Stainless steel boru, boru birliyi və s.
1/4" VCR
-
4
Korroziasız
RF güc təchizatı / avtomatik uyğunlaşdırıcı
-
Çin(OptionalCROWN1310)
1
RF güc təchizatı / avtomatik uyğunlaşdırıcı
-
Çin(OptionalCROWN1310)
1
Kompleks vakum manometri
ZDF
RB
1
IPC
2U
Çin
1
LCD məşq ekranı
17inci
Çin
1
PLC İdarəetmə Sistemi
S7-200
سیمنز
1
Elektrikli sürət nizamı
Standart
JSWN
1
Soğutma suyunun aşkarlanması və boru nizami
Standart
JSWN
1
Sıxışdırılmış hava aşkarlanması və boru nizami
Standart
JSWN
1
Soğutma dövri su maşını
HX
Çin
1
Ətraflandırma enjeksiya odası
Standart
JSWN
1
Vakuum qapan
SMC
SMC
1
Manevr operator sistem
SMC
SMC
1

Poçt texniki parametr

1. Limit vakuum: Etalonnalma odası 9.0×10-5Pa (Daxili rəmtlilik≤55%)
Enjeksiya nümunə odası 6.0×10-1Pa
2. Etalonnalma materialı: Ⅲ, Ⅴ Material, Si, SiO2 v.s.
3. Etalonnalma sürəti: ~ 1μ/dəq
4. Etalonnalma birləşməsi: ≤±5％(φ125mm diapazonu)
6. Elektrod ölçüsü: φ200mm

Tez-tez verilən suallar

1. Qiymət haqqında:

Bizim bütün qiymətlərimiz rəqabətçi və müzakirə edilə bilən dir. Qiymət, cihazınızın konfiqurasiyasından və xüsusilaşdırma mürəkkəbliyindən asılı olaraq dəyişir.

 

2. Nümunə haqqında:

Siz üçün nümunə hazırlama xidməti göstərə bilərik, lakin bir neçə ödəniş tələb edilə bilər.

 

3. Ödəniş haqqında:

Plan təsdiqləndikdən sonra, əvvəlcə bizə avans ödəməlisiniz və zavqat məhsul hazırlaşdırmağa başlayacaq. Təsnif hazır olunca və balansı ödədikdən sonra, göndəririk.

 

4. İstedak haqqında:

Əməliyyat mühafizə cihazlarının hazırlanması bitdikdən sonra sizə qəbul videolarını göndərəcəyik və siz də cihazları yoxlamaq üçün buraya gəlməyə bilərsiniz.

 

5. Quraşdırma və ayarlamalar:

Cihazlar zavquzunuza çatdıqdan sonra, biz inžinərləri göndərmək olar ki, onlar cihazları quraşdırıb səhv yoxlasın. Bu xidmət haqqı üçün size fərqli qiymət təklif edəcəyik.

 

6. Garanti haqqında:

Bizim cihazlar 12 aylıq zəmanət müddəti ilə gəlir. Zəmanət müddəti keçib daha sonra, əgər hansısa hissələr pozulub və əvəz edilməsi lazımdırsa, yalnız maliyet qiymətini götürəcəyik.

 

7. Satışdan sonra xidmət:

Bütün maşınlarda bir ildən artıq zəmanət müddəti mövcuddur. Texniki mühəndislərimiz həmişə onlayn rejimdədir və sizə avadanlıqların quraşdırılması, tənzimlənməsi və təmiri xidmətlərini təqdim edirik. Xüsusi və böyük avadanlıqlar üçün yerində quraşdırma və tənzimləmə xidmətləri də təqdim edə bilərik.

Daha çox məhsul

Sorğu

Hüquqlar qorunur © Guanzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Bütün hüquqlar qorunur

Gizlilik siyasəti

Sorğu Email Whatsapp WeChat
Ən yuxarı
×

Bizimlə əlaqə saxlayın