layihə |
Spesifikasiyalar |
qeydlər |
||
1 |
Təsnif haqqında |
Təsnif adı: Tamamilə avtomatik bərabər qley inkişaf etdirici maşın |
||
Təsnif modeli: MD-2C2D6 |
||||
İşləmə disk spesifikasiyası: 4/6-inci standart disklərlə uyğunlaşır |
||||
Bərabər qley inkişaf etdirmə prosesi: Çiçək sebəti dilimləmə → mərkəzləşdirilmə → bərabər qley (şaquliş → bərabər qley → sərhəd silməsi, arxa suyun ilə yumanma) → istilik plita → soyuq plita → çiçək sebətini yerləşdirin Inkişaf etdirmə prosesi: Çiçək sebəti dilimləmə → mərkəzləşdirilmə → inkişaf etdirmə (inkişaf etdirmə həlləti → deionizasiya suyu, arxa yumanma → azot kuşağı) → istilik plita → soyuq plita → çiçək sebətini yerləşdirin |
||||
Ümumi ölçülər (təxminən): 2100mm (U) * 1800mm (Ə) * 2100mm (H) |
||||
Kimyəvi kabın ölçüləri (təxminən): 1700(U) * 800(Ə) * 1600mm (H) |
||||
Ümumi çəki (təxminən): 1000kg |
||||
İş masası yüksəliyi: 1020 ± 50mm |
||||
2 |
Kaset modulu |
Miqdar: 2 |
||
Uyğun ölçülər: 4/6 inc |
||||
Kaset aşkarlanması: mikroperkləşək aşkarlaması |
||||
Çıxarılma aşkarlaması: Bəli, refleksiv sensordur |
||||
3 |
robot |
Miqdar: 1 |
||
Növ: İki kolu olan vakum emişli robot |
||||
Hərəkət dərəcəsi: 4-oxlu (R1, R2, Z, T) |
||||
Üstük materialı: keramik |
||||
Substrat sabitləmə üsulu: vakum emisiya üsulu |
||||
Xəritələndirilmə funksiyası: Var |
||||
Pozisional dəqiqlik: ± 0.1mm |
||||
4 |
Mərkəzləşdirici modul |
Miqdar: 1 dəst |
Seçimlik optik uyğunlaşdırma |
|
Uyğunlaşdırma üsulu: mexaniki uyğunlaşdırma |
||||
Mərkəzləşdirici dəqiqlik: ± 0.2mm |
||||
5 |
Birbərliq liqid modul |
Miqdar: 2 qrup ( aşağıdakılar hər bir modul üçün konfigurasiyalardır) |
||
Çubuq dönmə sürəti: -5000ç/d~5000ç/d |
taşıyıcı idler |
|||
Çubuq dönmə dəqiqliyi: ± 1ç/d (50ç/d~5000ç/d) |
||||
Çubuq dönmə sürətinin minimum ayarlanması: 1ç/d |
||||
Çubuq dönmənin maksimum ivməsi: 20000ç/d/s |
taşıyıcı idler |
|||
Damla qolları: 1 set |
||||
Fotoresist tübü yolu: 2 yol |
||||
Fotoresist nişançısının diametri: 2.5mm |
||||
Fotoresist izolyasiyası: 23 ± 0.5 ℃ |
seçimlik |
|||
Rəsmi nişançı: Bəli |
||||
RRC: Bəli |
||||
Bufer: Bəli, 200ml |
||||
Yapışqıcı atma üsulu: mərkəzi atma və skaner atma seçməlidir |
||||
Ərəz ağırlaşdırma kolu: 1 qrup |
||||
Ərəz ağırlaşdırma nozl diametri: 0.2mm |
||||
Ərəz ağırlaşdırma sıvı akım göstəricisi: suyu göstərən float göstəricisi |
||||
Ərəz ağırlaşdırma sıvısının akım diapazonu: 5-50ml/dəq |
||||
Geri yığma boru şəbəkəsi: 2 yol (hər biri 4/6 inc və 1 kanal ilə) |
||||
Geri yığma sıvı akım göstəricisi: suyu göstərən float göstəricisi |
||||
Geri yığma sıvı akım diapazonu: 20-200ml/dəq |
||||
Çip sabitləmə üsulu: kiçik sahəli vakum adsorbsiyası Chuck |
||||
Vakum basıncı alarmı: rəqəmsal vakum basıncı sensörü |
||||
Chuck materialı: PPS |
||||
Kupa materialı: PP |
||||
Kupa ventilyasiya monitörü: rəqəmsal basıncı sensörü |
||||
6 |
İnkişaf modulu |
Şutter:var |
||
Miqdar: 2 qrup ( aşağıdakılar hər bir modul üçün konfigurasiyalardır) |
||||
Çubuq dönmə sürəti: -5000ç/d~5000ç/d |
taşıyıcı idler |
|||
Çubuq dönmə dəqiqliyi: ± 1ç/d (50ç/d~5000ç/d) |
||||
Çubuq dönmə sürətinin minimum ayarlanması: 1ç/d |
||||
Çubuq dönmənin maksimum ivməsi: 20000ç/d/s |
taşıyıcı idler |
|||
İnkişaf kolu: 1 qrup |
||||
İnkişaf boruqları: 2-yol (ventil şəklində/sütun şəklində musluğu) |
||||
İnkişaf filtrasiyası: 0.2um |
||||
İnkişafçı temperaturu idarə edilməsi: 23 ± 0.5 ℃ |
seçimlik |
|||
İnkişafçı sulusionu akış diapazonu: 100~1000ml/min |
||||
İnkişaf qollarının hərəkət rejimi: sabit nöqtə və ya skanlayır |
||||
Birləşdirici qol: 1 set |
||||
Deyonizasi su boruçubuğu: 1 şəbəkə |
||||
Deyonizasi su pompa diametri: 4mm (iç çapı) |
||||
Deyonizasi su akış diapazonu: 100~1000ml/min |
||||
Aziq azotu şəxsiyyət boruçubuğu: 1 şəbəkə |
||||
Azot pompa diametri: 4mm (iç çapı) |
||||
Azot akış diapazonu: 5-50L/min |
||||
Geliştirici, deioniz su, azot akışını izləmək: float akış göstəricisi |
||||
Geri yığma boru şəbəkəsi: 2 yol (hər biri 4/6 inc və 1 kanal ilə) |
||||
Geri yığma sıvı akım göstəricisi: suyu göstərən float göstəricisi |
||||
Geri yığma sıvı akım diapazonu: 20-200ml/dəq |
||||
Çip sabitləmə üsulu: kiçik sahəli vakum adsorbsiyası Chuck |
||||
Vakum basıncı alarmı: rəqəmsal vakum basıncı sensörü |
||||
Chuck materialı: PPS |
||||
Chuck materialı: PPS |
||||
Kupa materialı: PP |
||||
Kupa ventilyasiya monitörü: rəqəmsal basıncı sensörü |
||||
7 |
Yapışqın vahid |
Miqdar: 2 |
seçimlik |
|
Temperatur diapazonu: otaq temperaturası~180 ℃ |
||||
Temperatur uniformalığı: Otaq temperaturası~120 ℃± 0.75 ℃ 120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ (Çevrədən 10mm çıxarılacaq, ejektor pin çuxuru istisna olmaqla) |
||||
Ən kiçik düzəlmə miqdarı: 0.1 ° C |
||||
Temperatur idarəetmə üsulu: PID düzəlməsi |
||||
PIN hündürlüyü diapazonu: 0-20mm |
||||
PIN materialı: cürbük SUS304, PIN pin qabası PI |
||||
İşə salma boşluğu: 0.2mm |
||||
Üzülmüş temperatur alarmı: pozitiv və negativ saptama alarmı |
||||
Təchizat metodu: Kökələmə, 10 ± 2ml/dəq |
||||
Kamerdə işə salma vakuumu: -5-20KPa |
||||
8 |
İsti plita üniti |
Miqdar: 10 |
||
Temperatur diapazonu: otaq temperaturası~250 ℃ |
||||
Temperatur uniformalığı: Otaq temperaturası~120 ℃± 0.75 ℃ 120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ 180.1℃~250℃ ±2.0℃ (Çevrədən 10mm çıxarılacaq, ejektor pin çuxuru istisna olmaqla) |
||||
Ən kiçik düzəliş miqdarı: 0.1 ℃ |
||||
Temperatur idarəetmə üsulu: PID düzəlməsi |
||||
PIN hündürlüyü diapazonu: 0-20mm |
||||
PIN materialı: cürbük SUS304, PIN pin qabası PI |
||||
İşə salma boşluğu: 0.2mm |
||||
Üzülmüş temperatur alarmı: pozitiv və negativ saptama alarmı |
||||
9 |
Soğuq plita üniti |
Miqdar: 2 |
||
Temperatur diapazonu: 15-25 ℃ |
||||
Soxutma üsulu: konstant temperaturlu dövri pompa soxutması |
||||
10 |
Kimyəvi maddə təchizatı |
Fotoresist saxlanması: pnevmatik qley pompu * 4 adet (İsteğe bağlı tank və ya elektrikli qley pompu) |
||
Qleynin istifadə edilən miqdarı: hər seansda maksimum 12ml, dəqiqlik ± 0.2ml |
||||
Sınırın silinməsi/arka xışnaması/RRC təchizati: 18L basinq tankı * 2 (avtomatik yeniləmə) |
||||
Sınırın silinməsi/arka xışnaması/RRC səviyyə monitörü: fotoelektrik sensör |
||||
Fotoresist səviyyə monitörü: fotoelektrik sensör |
||||
Birbaşa qley atıq sıvısının atımı: 10L atıq sıvı tankı |
||||
İştirakçi təchizati: 18L basinq tankı * 4 (Mashinin disindəki kimyəvi şaf蘭də saxlanılır) |
||||
Deyonizasiya suyu təchizatı: zavod direkt təchizatı |
||||
İnkişaf edən sıvı səviyyə monitoringu: fotoelektrik sensör |
||||
İnkişafçı atıq suyun çıxarılması: zavod atıq suyun çıxarılması |
||||
Tackifierin təchizatı: 10L basinq tankı * 1, 2L basinq tankı * 1 |
||||
Tackifierin səviyyə monitoringu: fotoelektrik sensör |
||||
11 |
i̇darəetmə Sistemi |
Idarəetmə üsulu: PLC |
||
İnsan-maqina əməliyyat interfeysi: 17 incçlik məsləhət ekranı |
||||
Kəsilməz Elektrik Təchizatı (UPS): Bəli |
||||
Cihaz operatorları, texniklar, idarəçilər üçün şifrələmə icazələri təyin edin |
||||
Sinyal qulaqlığı növü: qırmızı, sarı, yaşıl 3 rəng |
||||
12 |
Sistem güvəndiləyi göstəriciləri |
İşləm vaxtı: ≥95% |
||
MTBF: ≥ 500 saat |
||||
MTTR: ≤ 4 saat |
||||
MTBA: ≥24 saat |
||||
Parçalanma dərəcəsi: ≤ 1/10000 |
||||
13 |
Digər funksiyalar |
Qızıl işıq: 4 qurğu (yerləşdirilmə üslubu: yapışqıcı karışdırma və inkişaf ünitəsinin üstdə) |
||
THC: Bəli, 22.5 ℃± 0.5 ℃, 45% ± 2% |
seçimlik |
|||
FFU: 100 sinif, 5 qurğu (proses ünitəsi və ROBOT sahəsi) |
||||
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Hüquqlar qorunur © Guanzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Bütün hüquqlar qorunur
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
