Elektrik isitmesi |
Kamera (Tək otaqlı) |
||||
Məlumat yoxdur |
|||||
Aşağı elektrod növü |
242mm |
||||
Proses temperatur aralığı |
-20-100°C |
||||
پلازما منبع |
600Vt-1000Vt |
||||
Proses təzyiq manometri ölçüsü |
100mtorr |
||||
Vakuum sistemi |
Molekulyar nasos blokları, quru nasos sistemləri, proses kamerasi |
||||
Təbədül kamerlərinin sayı |
Tək mərtəbə |
||||
Çaplamalar |
NÖV |
Ölçü/mm |
Material |
||
Məlumat yoxdur |
8、6、4、3、2 |
||||
Son nöqtə detektoru |
آختاریش |
||||
İnduktiv əlaqəli plazma |
آختاریش |
Ətirəl material |
Si、Sio, Sin,Sau,Pt,Al |
Təbədül sürəti |
>20 nm/dəq (SiO2 materialı) müxtəlif materialların sürətləri müxtəlifdir |
Paylanmış nəzarət |
>85° |
Yükləmə metodu |
Açıq yükləmə |
MFC tərəfindən idarə olunan qaz kəməri |
Altı qaz tankı mövcuddur |
Helyum arxa soyutma seçimi |
Bəli |
İnsan-maqina interfeysi |
Təmaslı ekranla idarəetmə |
عملیات مود |
Tam avtomatik rejim, qeyri-tam avtomatik rejim |
Avtomatlaşdırılmış cihazların seçilməsi və konfiqurasiyası |
Siz idxal və ya yerli hissələrdən birini seçə bilərsiniz |
Hüquqlar qorunur © Guanzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Bütün hüquqlar qorunur