


Wafer Boyutu |
4”~ 8” wafer |
Wafer kalınlığı |
100~750 mikron |
Wafer türü |
Si, SiC, GaN veya diğer malzemeler |
Film türü |
Mavi film, UV film Genişlik: 230 ~ 300 mm Uzunluk: 100 m Kalınlık: 0.05 ~ 0.2 mm |
Wafer taşıyıcı halkası |
6”、8”DISCO |
Yüklemek ve boşaltmak yöntemi |
El ile wafer/tasıyıcı halka yerleştirme ve çıkarma |
Film konumlandırma doğruluğu |
±0.5mm 6” ve 8” waferler için standart 6” ve 8” wafer plakaları |
Vakum Pompası |
Minder-Hightech |
Elektrostatik kontrol |
Deionizasyon fanı |
Kontrol ünitesi |
PLC kontrolüne dayalı, 10” dokunmatik ekranlı |
Güvenlik koruması |
Işık perdesi koruması ve acil durum durdurma düğmesi ile donatılmış |
Güç kaynağı voltajı |
Tek fazlı AC 220V, 16A |
Sıkıştırılmış Hava |
0.45~0.6MPa, akış hızı 70L/dk |
Makine kasası |
Beyaz plastik kaplama metal kasası |
Volume |
850mm (genişlik)*1750mm (derinlik)*1970mm (yükseklik) |
Net ağırlık |
480 kg |


Telif Hakkı © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Tüm Hakları Saklıdır