Giriş:
Manyetron püskürtme kaplama cihazı, standartlaşma, modülerleşme ve özelleştirme özelliklerine sahip olan, şirketimiz tarafından bağımsız olarak geliştirilen maliyet etkin bir manyetron püskürtme kaplama ekipmanıdır. Manyetron hedefleri 1 inç, 2 inç ve 3 inç olmak üzere farklı boyutlarda mevcuttur; müşteriler, kaplanacak alt tabaka boyutuna göre uygun hedefi seçebilirler; güç kaynağı, yüksek enerjili metal püskürtme kaplamaları için kullanılabilen 500 W’lık yüksek güçlü DC güç kaynağıdır. Deneysel gereksinimlere göre, çeşitli malzemelerin kaplanması işlemlerini gerçekleştirmek amacıyla diğer DC veya RF güç kaynağı spesifikasyonları da seçilebilir.
Uygulama:
Tek veya çok katmanlı ferroelektrik ince filmler, iletken filmler, alaşım filmleri, yarı iletken filmleri, seramik filmleri, dielektrik filmleri, optik filmler vb. hazırlamak için kullanılabilir.