Giriş:
Manyetron püskürtme kaplama ekipmanı, şirketimiz tarafından geliştirilen özel bir laboratuvar kaplama cihazıdır. Cihaz, DC güç kaynağı ve RF güç kaynağı ile donatılabilir. Güç aralığı 500 W ile 1000 W arasındadır. Geleneksel plazma püskürtmeye kıyasla manyetron püskürtmenin yüksek enerji, yüksek hız, yüksek birikim oranı ve düşük numune sıcaklık artışı gibi avantajları vardır. Manyetron hedefi, su soğutmalı ara katmanla donatılmıştır. Su soğutucusu, ısıyı etkili bir şekilde uzaklaştırarak hedef yüzeyinde ısı birikimini önler; bu sayede manyetron kaplama uzun süreli stabil çalışabilir. Kompakt tasarım sayesinde hacim ve performans dengesi sağlanmış, görünümü estetik ve işlevleri kapsamlıdır. Tüm sistem, dokunmatik ekran ve dahilinde tek tuşla kaplama programı bulunan entegre kontrol sistemiyle yönetilir; bu da kullanımını kolaylaştırır ve laboratuvar ortamında ince filmler hazırlamak için ideal bir ekipmandır.
Uygulama:
Tek veya çok katmanlı ferroelektrik ince filmler, iletken filmler, alaşım filmleri, yarı iletken filmleri, seramik filmleri, dielektrik filmleri, optik filmler vb. hazırlamak için kullanılabilir.