





|
Plazma kaynağı
|
RF
|
||
|
Güç
|
ICP
|
_
|
|
|
BIAS
|
1000W(seçenek)
|
||
|
Uygulanabilir kapsam
|
4~8 inç
|
||
|
Tek işlem dilim sayısı
|
1
|
||
|
Dış görünüş boyutları
|
850mmx900mmx1850mm
|
||
|
Sistem Kontrolü
|
PLC
|
||
|
Otomasyon Seviyesi
|
Manuel
|
||








Telif Hakkı © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Tüm Hakları Saklıdır