Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Teklif Al

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Ana Sayfa
Hakkımızda
MH Ekipmanı
Çözüm
Yurtdışı Kullanıcılar
Video
Bize Ulaşın
Ana Sayfa> Laboratuvar Semiüdör Ekipmanı
  • Yarıiletken Malzemeler için Kesinlikle Çırpma ve Parlatma Makinesi
  • Yarıiletken Malzemeler için Kesinlikle Çırpma ve Parlatma Makinesi
  • Yarıiletken Malzemeler için Kesinlikle Çırpma ve Parlatma Makinesi
  • Yarıiletken Malzemeler için Kesinlikle Çırpma ve Parlatma Makinesi
  • Yarıiletken Malzemeler için Kesinlikle Çırpma ve Parlatma Makinesi
  • Yarıiletken Malzemeler için Kesinlikle Çırpma ve Parlatma Makinesi
  • Yarıiletken Malzemeler için Kesinlikle Çırpma ve Parlatma Makinesi
  • Yarıiletken Malzemeler için Kesinlikle Çırpma ve Parlatma Makinesi
  • Yarıiletken Malzemeler için Kesinlikle Çırpma ve Parlatma Makinesi
  • Yarıiletken Malzemeler için Kesinlikle Çırpma ve Parlatma Makinesi

Yarıiletken Malzemeler için Kesinlikle Çırpma ve Parlatma Makinesi

Ücretsiz Teklif Alın
Ürün Açıklaması

Ekipman genel görünümü:

MDAM-CMP100/150 öğütme ve parlatma makinesi, yarı iletken malzemeler ve optoelektronik malzemeler gibi uygulamaları kapsayan hassas öğütme ve parlatma ekipmanıdır. Ana olarak silikon, silikon dioksit ve indiyum antimonür odak düzlemi yongaları gibi başlıca yarı iletken malzeme yongalarının öğütülmesi ve inceltilmesi ile alt yüzey, üst yüzey ve uç yüzeylerin kimyasal mekanik parlatılması (CMP) işlemlerinde kullanılır. Tüm ekipman ve bileşenler tamamen korozyona karşı korunmuştur ve süreç parametreleri dokunmatik ekran arayüzü üzerinden ayarlanabilir.
Bilimsel ve makul tasarım, ileri düzey performans, yüksek otomasyon derecesi, kolay kullanım, kolay bakım ve güçlü güvenilirlik; örnek altlık bağlama, öğütme inceletme, kimyasal mekanik parlatma ve ön ile arka tespit süreçleri arasındaki bağlantı mantıklıdır; böylece ekipmanın her işlevinin işleme boyutlarının tutarlı olması sağlanır. Farklı donanımlar ve tüketim malzemeleriyle yapılandırılarak, farklı malzemeler ve kullanıcıların boyut gereksinimlerine yönelik çoklu makine konfigürasyonları ve süreç çözümleri elde edilebilir.

Yarı iletken teknolojisinin hızlı gelişimiyle birlikte, entegre devrelerin performans ve fonksiyonel gereksinimleri sürekli artmaya devam ediyor. TSV (Through Silicon Via) ve TGV (Through Glass Via) teknolojileri, ileri düzeyde ambalaj ve bağlantı teknolojileri olarak, çiplerin entegrasyonunu ve performansını etkili bir şekilde artırabilir. Bu cihaz, TSV/TGV teknolojisi uygulaması için benzersiz bir süreç planına sahiptir.

Ekipman avantajları:

* Bağımsız ve hareketli dokunmatik işletim sistemi;
* Çip ucunda yüzeyleme ve pürüzsüzleştirme işlemlerini gerçekleştirir, ayrıca özel açı hazırlamayı sağlar;
* 100 süreç menüsü depolayabilir;
* Bitiş noktası algılama (EPD) fonksiyonu;
* Seçime bağlı olarak 3-kanallı besleme sistemine yükseltilebilir;
* 6 inç ve altı boyutlardaki örneklere uygun.

Cihaz Fonksiyonu:

MDAM-CMP100/150 duyarlılıkli şleme ve pırasa makinesi, ana birim ve tüm yedek parçalar yüksek korozyon dayanımı olan malzemelerden yapılmıştır. Tüm makineler korozyon direnci, istikrarlı, aşınmaya dayalı ve çürümeye karşı dirençlidir, çeşitli semi-iletki malzemelerinin kimyasal mekanik şlemesine ve pırasasına uygunlaşmıştır. Çalışma alanı göstergeden ayrılmış durumda olup dokunmatik ekran kontrol sistemi kullanılarak dijital olarak kontrol edilmektedir. Makine CNC ile kontrol edilir, depolanabilir ve geri alınabilir.

Aygıt sistemi bir zamanlama fonksiyonuna sahip olup, 10 saat boyunca sürekli çalışabilir ve pürüzsüzleştirmek için kullanılan diskin hızını kontrol edebilir. Kontrol paneli, emmişlik çözümünün kontrol paneline sıçramasını önlemek amacıyla çalışma alanının dışında yerleştirilmiştir. Ana cihazın tüm parametreleri dokunmatik ekran üzerinden ayarlanabilir. Ana cihaz süreç parametreleri depolama ve geri yükleme fonksiyonlarına sahiptir ki bu da sürecin tutarlılığını ve tekrarlanabilirliğini garanti altına alır. Wafer numunesi, vakum ile sabitlenen aletin alt yüzeyine emilir ve vakumlu bir yağsız vakum pompa ile donatılmış olup, bağımsız ters emme önleme fonksiyonuna sahiptir.

Sabitleme yapılandırması, yatay döndürme sürücü sistemi dalga fonksiyonuna sahiptir, dalga aralığı %0-%100 ayarlanabilir. Dalga amplitudu ve frekans hızı kontrol paneli aracılığıyla doğru bir şekilde ayarlanabilir. Sabitleme, döndürme için bağımsız bir sürücü sistemine sahiptir, hız aralığı 0-120 devir/dakika ayarlanabilir. Bu işlevsel tasarım, örselenme ve pürüzlük işleminde numune üzerinde tam dalga ile parlatma sağlar, cihazın parlatma kapasitesini ve verimliliğini büyük ölçüde artırır.

Sabitleme, 1 μm izleme hassasiyetine sahip dijital kalınlık izleme tablosu ile donatılmıştır. Sabitlemenin wafer numunesi üzerinde uyguladığı basıncı sürekli olarak ayarlayabilirsiniz, basınç aralığı 0-3,5 kg ve hassasiyeti 2g/cm²'dir ve bir basınç ölçüm cihazı ile donatılmıştır.

Öğütme ve parlatma disklerinin çalışması ana tahrik tarafından kontrol edilir ve disk hızı 0 ila 120 devir/dakika aralığında ayarlanabilir. Bu hız değişimi aralığı, farklı sertlikte ve boyutta malzemelerin örneklerinin öğütülmesi ve parlatılması için gerekli hızı etkili bir şekilde sağlar ve böylece daha yüksek süreç göstergeleri elde edilir.
Zımpara disklerinin ve parlatma disklerinin değiştirilmesi basit ve hızlıdır; gömülü diskler sayesinde ekipman, zımparalama işlemlerinden parlatma işlemlerine hızlıca geçiş yapabilir ve bu da işlem süresini büyük ölçüde azaltır. Ayrıca zımpara diski, zımpara diskinin iyi bir düzgünlüğe sahip olmasını sağlamak için bir disk onarım bloğu ile donatılmıştır.
Özelliği
Model
MDAM-CMP100
MDAM-CMP150
Wafer Boyutu
4 inç ve altı
6 inç ve altı
Çalışma plakası çapı
420mm
420mm
Istasyon
≤4
≤2
Besleme girişi
≤3
Güç Kaynağı
220V, 10A
Zamanlama
0-10 saat
Ortam Sıcaklığı
20℃~35℃
Plaka hızı
0-120RPM
Sabitleme oranı
0-120RPM
Örnek sabitleme sistem bileşeni
Şangır, rulo kol
Parlatma işlemi montajı
Parlatma plakası, plaka tamir bloğu ve silindir
Parlatma işlemi montajı
Parlatma sıvısı besleme sistemi ve parlatma plakası
Algılama bileşeni
Test referans platformu,düzlik test cihazı,basınç test manometresi
Wafer parlatma ve malzeme paketi
Lapping tozu, pürüzlendirme çözümü, pürüz silme bezleri, cera, decera sıvısı, cam altı tabakası
SSS
1. Fiyat Hakkında:
Tüm fiyatlarımız rekabetçi ve müzakere edilebilir. Fiyat, cihazınızın yapılandırmasına ve özelleştirme karmaşıklığına bağlı olarak değişir.

2. Örnek Hakkında:
Sizin için örnek üretim hizmetleri sunabiliriz, ancak bazı ücretler ödemelisiniz.

3. Ödeme Hakkında:
Plan onaylandıktan sonra, önce bize bir anapara ödemeniz gerekir ve fabrika malzemeleri hazırlamaya başlayacak. Ekipman hazır olduğunda ve kalan ödemiş olduktan sonra, gönderimi yapacağız.
eşya hazır olduğunda ve bakiyeyi ödediğinizde, gönderimi yapacağız.

4. Teslimat Hakkında:
Ekipman üretimi tamamlandığında, size kabul videosunu göndereceğiz ve ayrıca ekipmanı incelemek için yere gelebilirsiniz.

5. Kurulum ve Ayarlama:
Ekipman fabrikana ulaştığında, mühendislerimizi göndererek ekipmanı kurup ayarlayabiliriz. Bu hizmet için ayrı bir fiyat teklif edeceğiz.

6. Garanti Hakkında:
Ekipmalarımız 12 aylık garanti süresine sahiptir. Garanti süresinin sonunda, herhangi bir parça hasar görmüşse ve değiştirilmesi gerekiyorsa, sadece maliyet fiyatını alırız.

Daha Fazla Ürün

Sorgu

Telif Hakkı © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Tüm Hakları Saklıdır

Gizlilik politikası

Sorgu Email Whatsapp WeChat
Üst
×

Bizimle İletişime Geçin