
| Model  | MDTS-WT2200  | 
| Inceltme eksenleri sayısı  |  2 | 
| Tezgah sayısı  | 3, Endeks yöntemi  | 
| Kesim tekeri spindel  | Hava spindel sayısı: 2  Spindel motoru: 7.5kW frekans değişmeli motor Hız: 0~6000rpm, adımlessly ayarlanabilir Kesim taşı belirtileri: Φ203mm Kesim taşı türü: Elmas kesim taşı | 
| Kesim taşı besleme sistemi  | Miktar: 2 küme  Besleme sistemi kontrol yöntemi: LM rehber raily ve toplu viti kombinasyon Surüş motoru: servomotor En düşük besleme hızı: 0.1um/sn En yüksek besleme hızı: 50mm/sn | 
| İş Tezgahı    | Miktar: 3, İndeks modu  Spindle motoru: Servomotor Hız: 0~300dev/dk, basamaksız ayarlanabilir Emme yöntemi: Boşluk emme | 
| Çalışma masası döner plak  | Suruş modu: servomotor  Dönüş açısı: 0~240° Pozisyonlama şekli: sensör destekli pozisyonlama | 
| Otomatik kalınlık  ölçüm sistemi | Ölçüm yöntemi: IPG temaslı çevrimiçi gerçek zamanlı ölçüm  Ölçüm başı sayısı: 2 Ölçüm sensörü: 0.1um seviyesindeki sensör | 
| Otomatik yükleme\/  boşaltma sistemi | Kutu tipi: 6-8inç Kaset, 25 tabaka  Otomatik yükleme\/boşaltma yöntemi: wafer manipülatörü, ince waferlerin hasarsız taşınmasını sağlamak için kullanılır Wfer kalınlığı: 150um-1000um | 
| İş masası temizleme fonksiyonu  | Temizleme yöntemi: Oilstone pürüzlendirme & DI suyu+hava iki-ağır akış temizlemesi  | 
| Otomatik temizleme/  kurutma Sistemi | Temizleme: DIW musluğu temizlemesi  Kurulama yöntemi: Esitleme+kurulama Hız: maksimum 1000rpm adımsız ayarlanabilir | 
| Statik Giderme Sistemi  | Ion çubuğu veyaion fan  | 
| Spindle soğutucu  | Sıcaklık: 18-22°C  Akış oranı: 4~8L/dk | 
| Kontrol Sistemi    | Kontrol sistemi: PC kontrol sistemi, dokunmatik ekran 3-rengilli alarm ışığı  Çince/İngilizce insan-makina arayüzü | 
| Maksimum wafer boyutu  | En fazla 8 inç uyumlu  | 
| Hız aralığı    | 0~6000 RPM  | 
| Z ekseni hareketi    | 160mm  | 
| Z ekseni besleme hızı  | 0.1~100um/saniye  | 
| Z-ekseni hızlı geri çekme hızı  | 50mm/saniye  | 
| Z-ekseni çözünürlüğü  | 0.1um  | 
| Çevrimiçi kalınlık ölçümü aralığı  | 0~1800um  | 
| Çevrimiçi kalınlık ölçümü çözünürlüğü  | 0.1um  | 


Telif Hakkı © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Tüm Hakları Saklıdır