Önemli olan
Giriş: Bu ekipman, çift hedefli manyetron kaplama cihazıdır. İki manyetron hedefi ve iki adet DC güç kaynağı ile donatılmıştır. Çok katmanlı iletken metal filmlerinin kaplanmasında kullanılabilir. Aynı zamanda ekipman, ana kabin ve geçiş kabininden olmak üzere iki kısımdan oluşur. Geçiş kabini, manyetik itme çubuğu ile donatılmıştır ve iki kabin arasında bir vakum kapısı vanası yerleştirilmiştir. Kullanıcı, numuneleri geçiş kabini içinde yükleyebilir ve ana kabinde püskürtme işlemi yapılırken önceden vakum oluşturabilir. Ana kabindeki püskürtme işlemi tamamlandığında numune, manyetik itme çubuğu aracılığıyla ana kabinin numune taşıyıcısına itilebilir. Bu tasarım, ana kabinin tekrar tekrar emiş ve atmosfere açılma sayısını azaltır; bu da yalnızca zamanı etkili bir şekilde tasarruf etmeyi sağlar, aynı zamanda daha iyi yerel vakumu garanti eder ve kaplama kalitesini etkili bir şekilde artırır.
Uygulama: Tek veya çok katmanlı ferroelektrik ince filmler, iletken filmler, alaşım filmleri, yarı iletken filmler, seramik filmler, dielektrik filmler, optik filmler vb. hazırlanabilir.