Giriş:
Bu ekipman, çift hedefli bir manyetron kaplama cihazıdır. İki manyetron hedefi ve iki adet DC güç kaynağı setiyle donatılmıştır. Çok katmanlı iletken metal filmlerinin kaplanmasında kullanılabilir. Aynı zamanda ekipman, ana odacık ve geçiş odacığı olmak üzere iki kısımdan oluşur. Geçiş odacığı, manyetik itme çubuğuyla donatılmıştır ve iki odacık arasında bir vakum kapısı vanası yerleştirilmiştir. Kullanıcı, örnekleri geçiş odacığında yükleyebilir ve ana odacıkta püskürtme işlemi yapılırken önceden vakum oluşturabilir. Ana odacıkta püskürtme işlemi tamamlandığında örnek, manyetik itme çubuğu aracılığıyla ana odacığın örnek taşıyıcısına itilebilir. Bu tasarım, ana odacığın boşaltılma ve atmosfere açılma sayısını azaltır; bu da yalnızca zamanı etkili bir şekilde tasarruf etmeyi sağlar, aynı zamanda daha iyi yerel vakumu garanti eder ve kaplama kalitesini etkili bir şekilde artırır.
Uygulama:
Tek veya çok katmanlı ferroelektrik ince filmler, iletken filmler, alaşım filmleri, yarı iletken filmleri, seramik filmleri, dielektrik filmleri, optik filmler vb. hazırlamak için kullanılabilir.