Giriş:
Bu ekipman, başlıca paslanmaz çelik bir vakum odası, bir manyetron sputter hedefi, bir buharlaştırma kaplama cihazı, numunelerin yerleştirildiği bir numune masası, bir vakum pompası ünitesi, bir vakum ölçüm göstergesi, bir hava giriş sistemi ve bir kontrol sistemi olmak üzere oluşur. Ekipmanın ana ünitesi, bir dokunmatik ekran ile çalıştırılır ve bir sıcaklık kontrol ölçeri ile izlenir. Dijital parametre arayüzü ve otomatik çalışma özelliği, kullanıcılar için mükemmel bir Ar-Ge platformu sağlar. Vakum odası alttan hedefli bir tasarım kullanır ve numune masası ısıtma ve döndürme fonksiyonlarına sahiptir; bu da kaplama etkisini daha homojen hale getirir. Ekipmanın vakum elde etme sistemi iki kademe vakum pompası grubundan oluşur. İlk kademe pompası yüksek hızlı bir mekanik pompadır ve normal basınçtan düşük vakuma geçiş süresini etkili bir şekilde kısaltır. Ana pompa ise yüksek pompalama hızına ve daha hızlı vakum elde etme hızına sahip bir türbo moleküler pompadır. Genel vakum elde etme sistemi temiz ve hızlıdır.
Uygulama:
Tek veya çok katmanlı ferroelektrik ince filmler, iletken filmler, alaşım filmleri, yarı iletken filmleri, seramik filmleri, dielektrik filmleri, optik filmler vb. hazırlamak için kullanılabilir.