EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
Giriş: Bu ekipman, çoğunlukla paslanmaz çelikten yapılmış bir vakum odası, bir manyetron sputter hedefi, bir buharlaştırma kaplama cihazı, numunelerin yerleştirileceği bir numune tablası, bir vakum pompası ünitesi, bir vakum ölçüm göstergesi, bir hava alma sistemi ve bir kontrol sistemi olmak üzere oluşturulmuştur. Ekipmanın ana ünitesi, bir dokunmatik ekran ile çalıştırılır ve bir sıcaklık kontrol cihazı ile izlenir. Sayısal parametre arayüzü ve otomatik çalışma özelliği, kullanıcılar için üstün bir Ar-Ge platformu sağlar. Vakum odası alttan hedefleme tasarımıyla üretilmiştir; numune tablası ise ısıtma ve döndürme fonksiyonlarına sahiptir, bu da kaplama etkisini daha homojen hale getirir. Ekipmanın vakum elde etme sistemi iki kademe vakum pompası grubundan oluşur. İlk kademe pompası, normal basınçtan düşük vakuma geçiş süresini etkili bir şekilde kısaltan yüksek hızlı bir mekanik pompadır. Ana pompa ise yüksek pompalama hızına ve daha hızlı vakum elde etme hızına sahip bir türbo moleküler pompadır. Genel vakum elde etme sistemi temiz ve hızlıdır.
Uygulama: Tek veya çok katmanlı ferroelektrik ince filmler, iletken filmler, alaşım filmleri, yarı iletken filmler, seramik filmler, dielektrik filmler, optik filmler vb. hazırlanabilir.
