Giriş:
Bu ekipman, çift hedefli bir manyetron kaplama cihazıdır. Bu konfigürasyon seti, yüksek vakumlu paslanmaz çelik bir kabin, ön yüzeyden açılan bir tasarım ve deneysel gözlem ile kaydı kolaylaştırmak amacıyla kapıda kuvars gözlem penceresi içerir. Aynı zamanda ekipman, film kalınlığının homojenliğini ve kalitesini etkili bir şekilde artıran dönen ısıtma örnek sahnesiyle donatılmıştır. Üst kapakta bir baffle (engel) seti yer alır ve bu baffle'lar döndürülerek iki hedef arasında geçiş yapılarak çok katmanlı kaplama sağlanabilir. Bu ekipman, yüksek vakumlu moleküler pompa grubuyla birlikte kullanılmalıdır. Kullanıcılar, montaj alanını daha da azaltmak için ithal marka küçük moleküler pompalar seçebilirler. Ayrıca bu model, isteğe bağlı olarak gerçek zamanlı filmlerin kalınlık verilerini izleyebilen ve deneysel süreç için güvenilir parametreler sağlayan bir film kalınlığı ölçer bileşeniyle donatılabilir.
Uygulama:
Metal ince filmlerin, elektronik alanlar için, optik alanlar için, özel seramikler gibi uygulamalarda kullanılabilir. Laboratuvar SEM numune hazırlama amacıyla da kullanılabilir.