





|
Plazma kaynağı
|
RF+BIAS
|
||
|
Güç
|
1000W
|
1000W
|
|
|
600W
|
600W
|
||
|
Uygulanabilir kapsam
|
4-8 inç
|
||
|
Tek işlem dilim sayısı
|
one
|
||
|
Dış görünüş boyutları
|
1140mm x 1050mm x 1620mm
|
||
|
Sistem Kontrolü
|
Sanayi kontrol sistemi
|
||
|
Otomasyon Seviyesi
|
Manuel
|
||








Telif Hakkı © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Tüm Hakları Saklıdır