Hassas CMP Sistemi

MDAM-CMP100 / MDAM-CMP150

Hassas CMP Sistemi

Ekipman genel görünümü:

Yüksek Hassasiyetli CMP sistemi, silisyum, silikon dioksit ve indiyum antimonür odak düzlemi yongaları gibi ana yarı iletken yongaların taşlanması ve inceltilmesi ile alt yüzey, üst yüzey ve uç yüzeyin kimyasal mekanik parlatılması için esas olarak kullanılır.

Cihazın tamamı ve tüm parçaları tamamen korozyona dayanıklıdır; işlem parametreleri dokunmatik ekran arayüzü üzerinden ayarlanabilir.

İşlenebilir numune boyutu:

Numune boyutu ≤ 152 mm / 6 inç

İşlenebilir kalınlık: 50 μm ~ 10 mm

Elde edilebilen işlem göstergeleri:

1. φ75 mm lik wafere ait toplam kalınlık sapması (TTV), 2 μm içinde yer alır;

2. φ100 mm lik wafere ait toplam kalınlık sapması (TTV), 3 μm içinde yer alır;

3. φ150 mm lik wafere ait toplam kalınlık sapması (TTV), 4 μm içinde yer alır.

İşlenebilecek örnek türleri:

Silisyum, silisyum karbür, elmas, seramikler, galyum nitrür, kuvars, galyum antimonür, indiyum fosfür, galyum arsenür, kadmiyum çinko tellürür, cıva kadmiyum tellürür, lityum niobat ve diğer yarı iletken malzemeler.

Ekipman özellikleri:

1. Örnek kalınlığını kontrol etmek için bitiş noktası tespit fonksiyonunu gerçekleştirmek.

2. Taşlama ve parlatma plakası üzerinde gerçek zamanlı çevrimiçi sıcaklık kontrolü ve soğutma fonksiyonu.

3. Çok kanallı besleme sistemi.

4. Taşlama ve parlatma plakasının otomatik yıkama fonksiyonu.

5. Plakanın otomatik onarım fonksiyonu.

6. Sabitleme aparatı, izleme doğruluğu 0,1 μm olan dijital kalınlık izleme masası ile donatılmıştır.

Teknik parametreler:

Cihaz Konfigürasyonu:

SSS

1. Fiyat Hakkında:

Tüm fiyatlarımız rekabetçi ve müzakere edilebilir. Fiyat, cihazınızın yapılandırmasına ve özelleştirme karmaşıklığına bağlı olarak değişir.

2. Örnek Hakkında:

Sizin için örnek üretim hizmetleri sunabiliriz, ancak bazı ücretler ödemelisiniz.

3. Ödeme Hakkında:

Plan onaylandıktan sonra, önce bize bir ön ödeme yapmanız gerekir ve fabrika malzemeleri hazırlamaya başlayacak. Ekipman hazır olduğunda ve kalan ödemenizi yaptığınızda, gönderimi gerçekleştireceğiz.

4. Teslimat Hakkında:

Ekipman üretimi tamamlandığında, size kabul videosunu göndereceğiz ve ayrıca ekipmanı incelemek için yere gelebilirsiniz.

5. Kurulum ve Ayarlama:

Ekipman fabrikana ulaştığında, mühendislerimizi göndererek ekipmanı kurup ayarlayabiliriz. Bu hizmet için ayrı bir fiyat teklif edeceğiz.

6. Garanti Hakkında:

Ekipmalarımız 12 aylık garanti süresine sahiptir. Garanti süresinin sonunda, herhangi bir parça hasar görmüşse ve değiştirilmesi gerekiyorsa, sadece maliyet fiyatını alırız.

7. Satış Sonrası Hizmet:

Tüm makinelerin bir yıldan fazla garanti süresi vardır. Teknik mühendislerimiz her zaman çevrimiçidir ve size ekipman kurulumu, ayarlaması ve bakım hizmetleri sağlar. Özel ve büyük ekipmanlar için saha kurulumu ve ayarlama hizmeti sunabiliriz.