Bu, semikonüktörler için düşük gerilimli bir mikrodalga plazma temizleme sistemimdir. Boşluk duvarındaki pencereye 2,45GHz frekansında mikrodalga uygulanarak sürekli Plazma'nın büyük bir miktarı oluşturulur ve çip, boşluğa girerek temizlenir.
Avantajlar: 1. Plazma yüksüz olduğundan devrelere zarar vermez 2. İşlem süreci boyunca düşük sıcaklık korunur 3. Hızlı tepki hızı ve kısa reaksiyon süresi 4. Elektrot yoktur, kirlilik kaynağı yoktur, uzun ömürlüdür 5. Yüksek basınç altında plazma sürdürülebilir 6. Mikrodalga bağlantıları ve manyetik devreler ile uyumludur 7. Düşük kendiliğinden polarizasyon gerilimi gereksinimi 8. Yüksek gerilim kaynağı ve jeneratör birbirinden izole edilmiştir; bu da güvenliği sağlar 9. Kuru aşındırma işlemi, kirlilik kaynağı yoktur
Uygulama alanları: Yarı iletken çip bağlanması için ön işleme, plastik ambalajlama için ön işleme, foto direnç kaldırma, metal bağlama ve ön işleme.