Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Teklif Al

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Ana Sayfa
Hakkımızda
MH Ekipmanı
Çözüm
Yurtdışı Kullanıcılar
Video
Bize Ulaşın
Ana Sayfa> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • MDICP-5000F Tam otomatik ICP etching makinesi
  • MDICP-5000F Tam otomatik ICP etching makinesi
  • MDICP-5000F Tam otomatik ICP etching makinesi
  • MDICP-5000F Tam otomatik ICP etching makinesi

MDICP-5000F Tam otomatik ICP etching makinesi

Model: MDICP-5000F

Ücretsiz Teklif Alın
MDICP-5000F Tam otomatik ICP etching makinesi
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory

İdareci Özeti:

Ekipman iki oda içeren bir vakum sistemidir. Bir oda enjeksiyon örnekleme odası ve diğeri etching odasıdır. Enjeksiyon örnekleme odası ve etching odası arasında bir vakum kilit bulunur ve enjeksiyon örnekleme manipülatör tarafından taşınır.
Ekipman, çoğunlukla vakum sistemi, gaz devresi sistemi, elektrik sistemi, kontrol sistemi, soğutma sistemi, film besleme ve alma mekanizması, alarm sistemi vb. oluşur.

Boşluk Sistemi:

Sistem, 600 L/S çekim hızına sahip bir moleküler pompa + L/S çekim hızına sahip ithal vakum kuruyu pumpleşen bir etki alanı odasını yüksek vakuma çeker. Moleküler pompa ve etki alanı odası arasında bir elektrikli dinamik basınç düzenleyici vanası bulunur. İthal kuruyu pompa, etki alanı odasının ön pumplama pumperi ve moleküler pumperin ön aşaması pompaıdır. L/S çekim hızına sahip başka bir mekanik pompa ile numune odasını vakum altına alırız. Mekanik pompa ve vakum odası ile moleküler pumpanın bağlantısı için stainless steel balon kullanılır ve elektromanyetik pneumatik blok vanası takılır.

Sabit basınç kontrol sistemi

Ekipman, bir akaryolu sabit basınç kontrol sistemiyle donatılmıştır ve hava çıkarma boru hattında elektrikli ayarlanabilir bir vanalı kurulmuştur. Film jauge'ın (ihrac edilen parça) ölçümü vasıtasıyla, ayarlanabilir vana kontrol edilir ve bu da vakum odasının sabit basına ulaşmasını sağlar, böylece süreç kararlılığı artırılır.

Sabit basınç kontrol sistemi

Ekipman, bir akaryolu sabit basınç kontrol sistemiyle donatılmıştır ve hava çıkarma boru hattında elektrikli ayarlanabilir bir vanalı kurulmuştur. Film jauge'ın (ihrac edilen parça) ölçümü vasıtasıyla, ayarlanabilir vana kontrol edilir ve bu da vakum odasının sabit basına ulaşmasını sağlar, böylece süreç kararlılığı artırılır.

Gaz Devresi Sistemi

Otomatik eşleşen iki takım RF güç kaynağı.

Uyarı sistemi

Ekipman için güvenlik gereksinimleri.
Özelliği
Ad
SPC
Marka
No.\/Adet
Not
Oyma odası, hava çıkarma boru hattı, gözlem penceresi, rezerv arayüz, vb
Standart
JSWN
1
Korozyon dayanıklı
Çerçeve, elektrik kabini, mühürler, standart parçalar, vb
Standart
JSWN
1
Oyma odası kapısı kaldırma sistemi
Standart
JSWN
1
Korozyon dayanıklı
Etçilme elektrotu ve soğutma sistemi
Standart
JSWN
1
Korozyon dayanıklı
Moleküler pompa (pompage hızı 600 L/s)
FF620/150
KYKY
1
Korozyon dayanıklı
Giriş kuru pompa (pompage hızı 9 L/s)
XDS-35I
Edwards
1
Korozyon dayanıklı
Mekanik pompa (pompage hızı 9 L/s)
TRP-36
BWVAC
1
Elektrikli düzenleyici kapı vanası
DCQ-150
JSWN
1
Korozyon dayanıklı
Pneumatik kabuk durdurma vanası
KF40
JSWN
3
Korozyon dayanıklı
Film göstergesi
KF16
INFICON
1
Korozyon dayanıklı
Kütle akış kontrolörü
D07
Sevenstar
4
Korozyon dayanıklı
Hava basınclı membran klavuzu
1/4″ VCR
-
4
Korozyon dayanıklı
Stainless çelik boru, boru birleşimi vb.
1/4″ VCR
-
4
Korozyon dayanıklı
RF güç kaynağı / otomatik eşleşici
-
Çin (İsteğe Bağlı CROWN1310)
1
RF güç kaynağı / otomatik eşleşici
-
Çin (İsteğe Bağlı CROWN1310)
1
Bileşik vakum gaugesi
ZDF
RB
1
Ipc
2U
Çin
1
LCD dokunmatik ekran
17 inç.
Çin
1
PLC kontrol sistemi
S7-200
Siemens
1
Elektrikli sürüş kontrol sistemi
Standart
JSWN
1
Soğutma suyu algılama ve hava sistemi
Standart
JSWN
1
Sıkıştırılmış hava algılama ve hava sistemi
Standart
JSWN
1
Soğutma dolaşım su makinesi
Hx
Çin
1
Etching enjeksiyon odası
Standart
JSWN
1
Boşluk kilidi
Smc
Smc
1
Manipülatör kontrol sistemi
Smc
Smc
1

Posta teknik parametresi

1. Limit boşluk: Etching odası 9.0×10-5Pa (İç nem≤55%)
Enjeksiyon örnekleme odası 6.0×10-1Pa
2. Etching malzemesi: Ⅲ、ⅤMalzeme、Si 、SiO2,vb.
3. Etching oranı: ~ 1μ/dak
4. Etching eşitliği: ≤±5％(φ125mm aralığı)
6. Elektrot boyutu: φ200mm

SSS

1. Fiyat Hakkında:

Tüm fiyatlarımız rekabetçi ve müzakere edilebilir. Fiyat, cihazınızın yapılandırmasına ve özelleştirme karmaşıklığına bağlı olarak değişir.

 

2. Örnek Hakkında:

Sizin için örnek üretim hizmetleri sunabiliriz, ancak bazı ücretler ödemelisiniz.

 

3. Ödeme Hakkında:

Plan onaylandıktan sonra, önce bize bir ön ödeme yapmanız gerekir ve fabrika malzemeleri hazırlamaya başlayacak. Ekipman hazır olduğunda ve kalan ödemenizi yaptığınızda, gönderimi gerçekleştireceğiz.

 

4. Teslimat Hakkında:

Ekipman üretimi tamamlandığında, size kabul videosunu göndereceğiz ve ayrıca ekipmanı incelemek için yere gelebilirsiniz.

 

5. Kurulum ve Ayarlama:

Ekipman fabrikana ulaştığında, mühendislerimizi göndererek ekipmanı kurup ayarlayabiliriz. Bu hizmet için ayrı bir fiyat teklif edeceğiz.

 

6. Garanti Hakkında:

Ekipmalarımız 12 aylık garanti süresine sahiptir. Garanti süresinin sonunda, herhangi bir parça hasar görmüşse ve değiştirilmesi gerekiyorsa, sadece maliyet fiyatını alırız.

 

7. Satış Sonrası Hizmet:

Tüm makinelerin bir yıldan fazla garanti süresi vardır. Teknik mühendislerimiz her zaman çevrimiçidir ve size ekipman kurulumu, ayarlaması ve bakım hizmetleri sağlar. Özel ve büyük ekipmanlar için saha kurulumu ve ayarlama hizmeti sunabiliriz.

Daha Fazla Ürün

Sorgu

Telif Hakkı © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Tüm Hakları Saklıdır

Gizlilik politikası

Sorgu Email Whatsapp WeChat
Üst
×

Bizimle İletişime Geçin