Model: MDST-6100
ICP kuru plazma asher, desumlama (ön işlem ve kalıntı giderme), polimer kaldırma (PI, BCB, PBO) ve iyon implantasyonu sonrası foto direnç kaldırma gibi uygulamalar için uygundur; odası 8 inçlik numuneleri alabilir (4 inç ve 6 inç boyutlarla uyumludur).
ICP Kuru Plazma Foto direnç Çıkarıcı
ICP kuru plazma asher, desumlama (ön işlem ve kalıntı giderme), polimer kaldırma (PI, BCB, PBO) ve iyon implantasyonu sonrası foto direnç kaldırma gibi uygulamalar için uygundur; odası 8 inçlik numuneleri alabilir (4 inç ve 6 inç boyutlarla uyumludur).
Ekipmanın görünümü sürekli güncellemelere ve ayarlara tabidir; gerçek sevk edilen ürün geçerlidir.
Avantajlar:
Yüksek düzeyde plazma iyonizasyonu ve ayrıştırma
Plazma işleminden sonra yeniden üretilebilirlik yüksektir
Kuru aşındırma, kirlilik kaynağı yoktur
Kelebek vanalar aracılığıyla basınç ve sıcaklık kontrolü
Yüksek basınçta plazmayı koruyabilir
Yüksek Gerilim Kaynağı ile İyon Üretecinin Ayrılması
Mikrodalga bağlantı noktası ve manyetik devre uyumludur
Müşteri gereksinimlerini karşılayabilir
İşlem sırasında düşük sıcaklık
Hızlı yanıt hızı ve kısa yanıt süresi
Model |
MDST6100 |
Plazma kaynağı |
radyo Frekansı |
güç |
1000W |
Uygulama Alanı |
8 inç (4 veya 6 inç ile uyumlu) |
Kutu boyutu |
25 Adet |
Genel boyutlar |
U1696xG2170xY2146 mm |
Sistem Kontrolü |
PLC |
Malzeme kutusu sistemi |
Otomatik |
Ekipmanın Gerçek Fotoğrafları:
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Telif Hakkı © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Tüm Hakları Saklıdır
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
