proje |
Özellikler |
notlar |
||
1 |
Ekipman Genel Bakışı |
Tesisat adı: Tamamen otomatik düz yapışkan geliştirmek makinesi |
||
Tesisat modeli: MD-2C2D6 |
||||
İşlem wafer spesifikasyonları: 4/6-inci standart wafere uyumlu |
||||
Düz yapışkan işlem akışı: Çiçek sepeti dilimleme → merkezleme → düz yapışkan (dökme → düz yapışkan → kenar kaldırma, arka yıkama) → sıcak plaka → soğuk plaka → sepet yerleştirme Geliştirme işlem akışı: Çiçek sepeti dilimleme → merkezleme → geliştirme (geliştirme çözümü → deionize su, arka yıkama → azot kurutma) → sıcak plaka → soğuk plaka → sepet yerleştirme |
||||
Genel boyutlar (yaklaşık): 2100mm (G) * 1800mm (D) * 2100mm (Y) |
||||
Kimyasal dolap boyutları (yaklaşık): 1700(G) * 800(D) * 1600mm (Y) |
||||
Toplam ağırlık (yaklaşık): 1000kg |
||||
İş masası yüksekliği: 1020 ± 50mm |
||||
2 |
Kaset birimi |
Adet: 2 |
||
Uyumluluk boyutu: 4/6 inç |
||||
Kaset algılama: mikro anahtar algılama |
||||
Çıkarılma algılama: Evet, yansıtıcı sensör |
||||
3 |
robot |
Miktar: 1 |
||
Tür: Çift kol vakum emme robotu |
||||
Hareket özgürlüğü: 4-eksen (R1, R2, Z, T) |
||||
Parmak malzeme: seramik |
||||
Altyapı sabitleme yöntemi: vakum emme yöntemi |
||||
Haritalama fonksiyonu: Evet |
||||
Konumlandırma doğruluğu: ± 0.1mm |
||||
4 |
Merkezleme birimi |
Miktar: 1 set |
İsteğe bağlı optik hizalama |
|
Hizalama yöntemi: mekanik hizalama |
||||
Merkezleme doğruluğu: ± 0.2mm |
||||
5 |
Düzgün yapıştırıcı birimi |
Miktar: 2 takım (aşağıdaki her birim için yapılandırmalar) |
||
Spindel döner hızı: -5000rpm~5000rpm |
taşıyıcı boyaç |
|||
Mandıra döndürme doğruluğu: ± 1dev/s (50dev/s~5000dev/s) |
||||
Mandıra döndürme hızı minimum ayarı: 1dev/s |
||||
Mandıra döndürme maksimum ivmesi: 20000dev/s |
taşıyıcı boyaç |
|||
Dripping kol: 1 set |
||||
Fotoresist tüp yolu: 2 yol |
||||
Fotoresist musluğu çapı: 2,5mm |
||||
Fotoresist yalıtımı: 23 ± 0,5 ℃ |
opsiyonel |
|||
Nemlendirme musluğu: Evet |
||||
RRC: Evet |
||||
Tampon: Evet, 200ml |
||||
Yapıştırıcı bırakma yöntemi: merkez bırakma ve tarama bırakması seçilebilir |
||||
Kenar kaldırma kolü: 1 set |
||||
Kenar kaldırma nozul直径: 0.2mm |
||||
Kenar kaldırma sıvı akış izleme: küre akım göstergesi |
||||
Kenar kaldırma sıvısı akış aralığı: 5-50ml/dk |
||||
Geriye doğru yıkama hattı: 2 yol (her biri 4/6 inç, her biri 1 kanal) |
||||
Geriye doğru yıkama akış izleme: küre akım göstergesi |
||||
Geriye doğru yıkama sıvı akış aralığı: 20-200ml/dk |
||||
Çip sabitleme yöntemi: küçük alan vakum emme Chuck |
||||
Suction basınç alarmı: dijital vakum basınç sensörü |
||||
Çiviyıcı malzeme: PPS |
||||
Kupa malzeme: PP |
||||
Kupa havalandırma izleme: dijital basınç sensörü |
||||
6 |
Geliştirme birimi |
Şömine:evet |
||
Miktar: 2 takım (aşağıdaki her birim için yapılandırmalar) |
||||
Spindel döner hızı: -5000rpm~5000rpm |
taşıyıcı boyaç |
|||
Mandıra döndürme doğruluğu: ± 1dev/s (50dev/s~5000dev/s) |
||||
Mandıra döndürme hızı minimum ayarı: 1dev/s |
||||
Mandıra döndürme maksimum ivmesi: 20000dev/s |
taşıyıcı boyaç |
|||
Geliştirme kolu: 1 set |
||||
Geliştirme hattı: 2-yol (yelpaze/şekerli musluk) |
||||
Geliştirici süzgec: 0.2um |
||||
Geliştirici sıcaklık kontrolü: 23 ± 0.5 ℃ |
opsiyonel |
|||
Çözüm akış aralığı: 100~1000ml/dk |
||||
Geliştirme kolu hareket modu: sabit nokta veya tarama |
||||
Birleştirme kolu: 1 set |
||||
Deionize su hattı: 1 devre |
||||
Deionize su musluğu çapı: 4mm (iç çap) |
||||
Deionize su akış aralığı: 100~1000ml/dk |
||||
Azot kurutma hattı: 1 devre |
||||
Azot musluğu çapı: 4mm (iç çap) |
||||
Azot akış aralığı: 5-50L/dk |
||||
Geliştirici, deionize su, azot akış izleme: küre akım göstergesi |
||||
Geriye doğru yıkama hattı: 2 yol (her biri 4/6 inç, her biri 1 kanal) |
||||
Geriye doğru yıkama akış izleme: küre akım göstergesi |
||||
Geriye doğru yıkama sıvı akış aralığı: 20-200ml/dk |
||||
Çip sabitleme yöntemi: küçük alan vakum emme Chuck |
||||
Suction basınç alarmı: dijital vakum basınç sensörü |
||||
Çiviyıcı malzeme: PPS |
||||
Çiviyıcı malzeme: PPS |
||||
Kupa malzeme: PP |
||||
Kupa havalandırma izleme: dijital basınç sensörü |
||||
7 |
Yapıştırıcı birim |
Adet: 2 |
opsiyonel |
|
Sıcaklık aralığı: oda sıcaklığı~180 ℃ |
||||
Sıcaklık eşitliği: Oda sıcaklığı~120 ℃± 0.75 ℃ 120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ (Kenarın 10mm'si çıkarılır, ejeksiyon pini deliği hariç) |
||||
En düşük ayarlama miktarı: 0.1 ° C |
||||
Sıcaklık kontrol yöntemi: PID ayarı |
||||
PIN yükseklik aralığı: 0-20mm |
||||
PIN malzemesi: gövde SUS304, PIN pin kapağı PI |
||||
Fırınlama aralığı: 0.2mm |
||||
Fazla sıcaklık alarmı: pozitif ve negatif sapma alarmı |
||||
Tedarik yöntemi: Kabarcıkla, 10 ± 2ml/dk |
||||
Odalar için vakum işlemi: -5-20KPa |
||||
8 |
Isı plakası birimi |
Adet: 10 |
||
Sıcaklık aralığı: oda sıcaklığı~250 ℃ |
||||
Sıcaklık eşitliği: Oda sıcaklığı~120 ℃± 0.75 ℃ 120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ 180.1℃~250℃ ±2.0℃ (Kenarın 10mm'si çıkarılır, ejeksiyon pini deliği hariç) |
||||
En küçük ayar miktarı: 0.1 ℃ |
||||
Sıcaklık kontrol yöntemi: PID ayarı |
||||
PIN yükseklik aralığı: 0-20mm |
||||
PIN malzemesi: gövde SUS304, PIN pin kapağı PI |
||||
Fırınlama aralığı: 0.2mm |
||||
Fazla sıcaklık alarmı: pozitif ve negatif sapma alarmı |
||||
9 |
Soğutma plakası birimi |
Adet: 2 |
||
Sıcaklık aralığı: 15-25 ℃ |
||||
Soğutma yöntemi: sabit sıcaklık dolaşım pompa soğutması |
||||
10 |
Kimyasal Tedarik |
Foto direnç depolama: pneumatik yapıştırıcı pompa * 4 set (Opsiyonel tank veya elektrikli yapıştırıcı pompa) |
||
Yapıştırıcı serpme hacmi: oturum başına maksimum 12ml, doğruluk ± 0.2ml |
||||
Kenar kaldırma/arka yıkama/RRC tedariki: 18L basınç tankı * 2 (otomatik yenileme) |
||||
Kenar kaldırma/arka yıkama/RRC seviye izleme: fotoelektrik sensör |
||||
Foto direnç seviye izleme: fotoelektrik sensör |
||||
Düz yapışkan atık sıvısı atımı: 10L atık sıvı tankı |
||||
Geliştirici tedariki: 18L basınç tankı * 4 (Makine dışında kimya dolabında depolanır) |
||||
Ayonlu su tedariki: fabrika doğrudan tedarik |
||||
Sıvı seviye izleme geliştirmesi: fotoelektrik sensör |
||||
Geliştirici atık çıkarma: fabrika atık çıkarma |
||||
Yapıştırıcı tedariki: 10L basınç tankı * 1, 2L basınç tankı * 1 |
||||
Yapıştırıcı seviye izleme: fotoelektrik sensör |
||||
11 |
kontrol Sistemi |
Kontrol yöntemi: PLC |
||
İnsan makine işlem arabirimi: 17 inç dokunmatik ekran |
||||
Kesintisiz Enerji Kaynağı (UPS): Evet |
||||
Cihaz operatörleri, teknisyenler, yöneticiler için şifreleme izinleri ayarlama |
||||
Sinyal kule türü: kırmızı, sarı, yeşil 3 renk |
||||
12 |
Sistem güvenilirlik göstergeleri |
Çalışma süresi: ≥95% |
||
MTBF: ≥ 500h |
||||
MTTR: ≤ 4h |
||||
MTBA： ≥24h |
||||
Parçalanma oranı: ≤ 1/10000 |
||||
13 |
Diğer fonksiyonlar |
Sarı ışık: 4 set (konum: yapıştırıcı karıştırma ve geliştirme birimi üzerinde) |
||
THC: Evet, 22.5 ℃± 0.5 ℃, 45% ± 2% |
opsiyonel |
|||
FFU: Sınıf 100, 5 set (işlem birimi ve ROBOT alanı) |
||||
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Telif Hakkı © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Tüm Hakları Saklıdır
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
