


Laki ng Wafer |
4”~ 8” wafer |
Laksang wafer |
100~750 mikron |
Uri ng wafer |
Si, SiC, GaN, o iba pang mga materyales |
Uri ng pelikula |
Asul na pelikula, UV na pelikula Lapad: 230 ~ 300 mm Haba: 100 m Labis: 0.05 ~ 0.2 mm |
Wafer carrier ring |
6”, 8” DISCO |
Pamamaraan ng pagloload at unload |
Manual na paglilipat at pag-aalis ng wafer/carrier ring |
Katumpakan ng posisyon ng pelikula |
±0.5mm Pangkaraniwang plato ng wafer na 6” at 8” para sa mga wafer na 6” at 8” |
Mga vacuum pump |
Minder-Hightech |
Kontrol ng antistatiko |
Bantayog ng deyonisasyon |
Unit ng kontrol |
Batay sa kontrol ng PLC, may touch screen na 10” |
Paggamot ng kaligtasan |
Kinakatawan ng proteksyon ng light curtain at pindutan ng emergency stop |
Power supply VOLTAGE |
Isang-fase na AC 220V, 16A |
Pinindot na Hangin |
0.45~0.6MPa, bilis ng pamumulaklak 70L/min |
Kasangga ng makina |
Metalyikong kasangga na plastik-sprayed na puti |
Volume |
850mm (lapad)*1750mm (lalim)*1970mm (taas) |
Net Weight |
480kg |


Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Lahat ng Karapatan ay Nakalaan