Sistematikong Precision CMP

MDAM-CMP100 / MDAM-CMP150

Sistematikong Precision CMP

Pamamalas ng kagamitan:

Ang sistemang Precision CMP ay ginagamit pangunahin para sa pagpapalapad at pagpapahina ng mga pangunahing semiconductor chip tulad ng silicon, silicon dioxide, at indium antimonide focal plane chip, gayundin para sa kemikal-mekanikal na polishing ng ilalim, ibabaw, at dulo.

Ang buong makina at lahat ng bahagi ng kagamitan ay lubos na anti-corrosive, at ang mga parameter ng proseso ay maaaring itakda gamit ang touch screen interactive interface.

Laki ng sample na maaaring iproseso:

Laki ng sample ≤ 152 mm / 6 pulgada

Kapal na maaaring pahirinan: 50 μm hanggang 10 mm

Mga nakakamit na indicator ng proseso:

1. Ang kabuuang pagkakaiba ng kapal (TTV) ng wafer na may diameter na φ75 mm ay nasa loob ng 2 μm;

2. Ang kabuuang pagkakaiba ng kapal (TTV) ng wafer na may diameter na φ100 mm ay nasa loob ng 3 μm;

3. Ang kabuuang pagkakaiba ng kapal (TTV) ng wafer na may diameter na φ150 mm ay nasa loob ng 4 μm.

Mga uri ng sample na maaaring iproseso:

Silicon, silicon carbide, diamond, ceramics, gallium nitride, quartz, gallium antimonide, indium phosphide, gallium arsenide, cadmium zinc telluride, mercury cadmium telluride, lithium niobate at iba pang mga semiconductor na materyales.

Mga tampok ng kagamitan:

1. Maisasagawa ang pagkakaroon ng function para sa pagdetect ng endpoint upang kontrolin ang kapal ng sample.

2. On-line na real-time na pagkontrol sa temperatura at pagpapalamig ng lapping at polishing plate.

3. Multi-channel na sistema para sa pagbibigay ng material.

4. Awtomatikong paghuhugas ng lapping at polishing plate.

5. Awtomatikong pagre-repair ng plate.

6. Ang fixture ay may kasamang digital na mesa para sa pag-monitor ng kapal na may accuracy na 0.1 μm.

Mga teknikal na parameter:

Pagsasaayos ng Device:

Madalas Itanong

1. Tungkol sa Presyo:

Lahat ng aming presyo ay kompetitibo at nakakausap. Ang presyo ay may babagong depende sa konpigurasyon at kumplikadong customisasyon ng iyong device.

2. Tungkol sa Sample:

Maaari naming ibigay ang serbisyo ng paggawa ng sample para sa iyo, ngunit maaaring ipagbigay mo ang ilang bayad.

3. Tungkol sa Pagbabayad:

Pagkatapos ayusin ang plano, kailangan mong magbayad ng deposito muna, at simulan ng fabrica ang paghahanda ng mga produkto. Pagkatapos maayos ang equipment at bayad mo ang babal na halaga, ipapadala namin ito.

4. Tungkol sa Pagpapadala:

Pagkatapos matapos ang paggawa ng equipment, ipapadala namin sa iyo ang video ng pag-aasang paunlaran, at maaari mo ring pumunta sa lugar upang inspekshunan ang equipment.

5. Pag-install at Pag-debug:

Pagdating ng equipment sa iyong fabrica, maaaring ipadala namin ang mga engineer upang mag-install at mag-debug ng equipment. Ibibigay namin sa iyo ang iba pang presyo para sa serbisong ito.

6. Tungkol sa Garanty:

Ang aming equipment ay may 12-bulanang guarantee period. Pagkatapos ng guarantee period, kung sinomang parte ay nasira at kinakailanganang palitan, iuuulit namin ang kosilyo lamang.

7. Serbisyo Pagkatapos ng Pagbebenta:

Lahat ng makina ay may warranty na higit sa isang taon. Ang aming mga inhinyerong teknikal ay palaging online upang magbigay sa iyo ng serbisyo para sa pag-install, pag-debug, at pangangalaga ng kagamitan. Maaari naming ibigay ang serbisyo sa lugar para sa pag-install at pag-debug ng espesyal at malaking kagamitan.