Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Kumuha ng Quote

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Homepage
Tungkol Sa Amin
Kagamitan ng MH
Solusyon
Mga Gumagamit Sa Kabilang Dagat
Video
Makipag-ugnayan sa Amin
Bahay> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • MDICP-5000F Fully automatic ICP etching machine
  • MDICP-5000F Fully automatic ICP etching machine
  • MDICP-5000F Fully automatic ICP etching machine
  • MDICP-5000F Fully automatic ICP etching machine

MDICP-5000F Fully automatic ICP etching machine

Modelo: MDICP-5000F

Kumuha ng Libreng Presyo
MDICP-5000F Fully automatic ICP etching machine
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory

Executive Summary:

Ang kagamitan ay isang dalawang kuwartong sistema ng vacuum. Ang isang kuwarta ay ang chamber para sa pagsample ng pag-inject at ang isa pang kuwarta ay ang etching chamber. Mayroong vacuum lock na inilagay sa pagitan ng injection sampling chamber at etching chamber, at ang injection sampling ay dinadala ng manipulator.
Ang kagamitan ay pangunahing binubuo ng sistema ng vacuum, gas circuit system, elektrikal na sistema, kontrol na sistema, cooling system, mekanismo ng pagsasala at pagkuha ng pelikula, alarma system, atbp.

Vacuum System:

Binubuo ang sistema ng isang molecular pump na may pumping speed na 600 L/S + isang inilathalak na vacuum dry pump na may pumping speed na L/s upang i-vacuum ang etching chamber papunta sa mataas na vacuum. Nakasangkot ang isang elektro dinamiko na presyon regulating valve sa pagitan ng molecular pump at etching chamber. Ang inilathalak na dry pump ay ang una bago ang pamumpa ng etching chamber at ang unang pump ng molecular pump. Gumagamit ng isa pang mechanical pump na may pumping speed na L/s upang i-vacuum ang sample chamber. Ginagamit ang stainless steel bellows para sa koneksyon sa pagitan ng mechanical pump at vacuum chamber at molecular pump, at nakasangkot ang electromagnetic pneumatic block valve.

Sistema ng kontrol ng konstante na presyon

Ang kagamitan ay na-equip ng isang sistema ng kontrol ng constant pressure pababa, at mayroong isang elektrikong adjustable valve na nakainstal sa pipeline ng air extraction. Sa pamamagitan ng pag-uukur ng film gauge (imported parts), kinokontrol ang adjustable valve upang maabot ng vacuum chamber ang constant pressure, upang maiimprove ang estabilidad ng proseso.

Sistema ng kontrol ng konstante na presyon

Ang kagamitan ay na-equip ng isang sistema ng kontrol ng constant pressure pababa, at mayroong isang elektrikong adjustable valve na nakainstal sa pipeline ng air extraction. Sa pamamagitan ng pag-uukur ng film gauge (imported parts), kinokontrol ang adjustable valve upang maabot ng vacuum chamber ang constant pressure, upang maiimprove ang estabilidad ng proseso.

Sistema ng gas circuit

Dalawang set ng RF power supply na may automatic matching.

Sistema ng alarm

Mga safety requirement para sa kagamitan.
Espesipikasyon
Pangalan
SPC
Brand
No.\/Set
Tala
Etching chamber, air extraction pipeline, observation window, reserved interface, etc
Pamantayan
JSWN
1
Antikorosyon
Frame, electric cabinet, seals, standard parts, etc
Pamantayan
JSWN
1
Sistema ng pag-angkat ng etching chamber cover
Pamantayan
JSWN
1
Antikorosyon
Eletrodo para etching at sistema ng pagkukuluan
Pamantayan
JSWN
1
Antikorosyon
Molecular pump (bilis ng pumping 600 L/s)
FF620/150
KYKY
1
Antikorosyon
Inlet dry pump (bilis ng pumping 9 L/s)
XDS-35I
Edwards
1
Antikorosyon
Mekanikal na pampump (bilis ng pumping 9 L/s)
TRP-36
BWVAC
1
Elektro pang-regulate gate valve
DCQ-150
JSWN
1
Antikorosyon
Pneumatic bellows tugatugang bibig
KF40
JSWN
3
Antikorosyon
Pelikula na sukat
KF16
INFICON
1
Antikorosyon
Mass flow controller
D07
Sevenstar
4
Antikorosyon
Pneumatic diaphragm valve
1/4″VCR
-
4
Antikorosyon
Tubong bakal na rusti, tugatugan ng tube, etc
1/4″VCR
-
4
Antikorosyon
Pagsubok ng RF power supply\/ matcher na awtomatiko
-
Tsina(OptionalCROWN1310)
1
Pagsubok ng RF power supply\/ matcher na awtomatiko
-
Tsina(OptionalCROWN1310)
1
Kompositong gauge ng vacuum
ZDF
RB
1
IPC
2U
Tsina
1
LCD touch screen
17pulgada
Tsina
1
PLC control system (mga sistema ng kontrol ng PLC)
S7-200
Siemens
1
Sistemang pangkontrol ng elektrikong drive
Pamantayan
JSWN
1
Pagsusuri at sistemang pipa para sa tubig na pampaglamig
Pamantayan
JSWN
1
Pagsusuri at sistemang pipa para sa nakakompres na hangin
Pamantayan
JSWN
1
Makinang pang-sirkulasyon ng tubig na nagpapalipat ng init
Hx
Tsina
1
Kamerang pang-inusyon para sa pag-eetch
Pamantayan
JSWN
1
Lokong pang-himpapawid
SMC
SMC
1
Sistemang pang-kontrol ng manipulator
SMC
SMC
1

Teknikong parameter ng mail

1. Limita ng himpapawid: Kamera ng pag-eetch 9.0×10-5Pa (Indoor humidity≤55%)
Kamerang pang-sampling at inusyon 6.0×10-1Pa
2. Materyales para sa pag-eetch: Ⅲ、ⅤMateryales、Si 、SiO2,etc
3. Bilis ng pag-eetch: ~ 1μ/minuto
4. Karaniwang pag-eetch: ≤±5％(φ125mm sakop)
6. Sukat ng elektrodo: φ200mm

Madalas Itanong

1. Tungkol sa Presyo:

Lahat ng aming presyo ay kompetitibo at nakakausap. Ang presyo ay may babagong depende sa konpigurasyon at kumplikadong customisasyon ng iyong device.

 

2. Tungkol sa Sample:

Maaari naming ibigay ang serbisyo ng paggawa ng sample para sa iyo, ngunit maaaring ipagbigay mo ang ilang bayad.

 

3. Tungkol sa Pagbabayad:

Pagkatapos ayusin ang plano, kailangan mong magbayad ng deposito muna, at simulan ng fabrica ang paghahanda ng mga produkto. Pagkatapos maayos ang equipment at bayad mo ang babal na halaga, ipapadala namin ito.

 

4. Tungkol sa Pagpapadala:

Pagkatapos matapos ang paggawa ng equipment, ipapadala namin sa iyo ang video ng pag-aasang paunlaran, at maaari mo ring pumunta sa lugar upang inspekshunan ang equipment.

 

5. Pag-install at Pag-debug:

Pagdating ng equipment sa iyong fabrica, maaaring ipadala namin ang mga engineer upang mag-install at mag-debug ng equipment. Ibibigay namin sa iyo ang iba pang presyo para sa serbisong ito.

 

6. Tungkol sa Garanty:

Ang aming equipment ay may 12-bulanang guarantee period. Pagkatapos ng guarantee period, kung sinomang parte ay nasira at kinakailanganang palitan, iuuulit namin ang kosilyo lamang.

 

7. Serbisyo Pagkatapos ng Pagbebenta:

Lahat ng makina ay may warranty na higit sa isang taon. Ang aming mga inhinyerong teknikal ay palaging online upang magbigay sa iyo ng serbisyo para sa pag-install, pag-debug, at pangangalaga ng kagamitan. Maaari naming ibigay ang serbisyo sa lugar para sa pag-install at pag-debug ng espesyal at malaking kagamitan.

Marami Pang Produkto

KATANUNGAN

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Lahat ng Karapatan ay Nakalaan

Patakaran sa Pagkakapribado

KATANUNGAN Email Whatsapp WeChat
Nangunguna
×

Makipag-ugnayan