Sistema ng Plasma Etching na Gumagamit ng Inductive Coupling (ICP) , China Sistema ng Plasma Etching na Gumagamit ng Inductive Coupling (ICP) Manufacturers, Suppliers, Factory

Sistemang Pagpapatalsik ng Plasmatrong Pamamagitan ng Induktibong Koneksyon (icp)

Ang Inductively coupled reactive ion etching technology ay isang uri ng RIE. Nakakamit nito ang decoupling ng plasma ion density at ion energy sa pamamagitan ng independent control sa ion flux, kung kaya't pinahuhusay ang control accuracy at flexibility ng etching process.

Ang serye ng high-density inductively coupled reactive ion etching (ICP-RIE) ay batay sa teknolohiyang inductively coupled plasma at ito ay idinisenyo upang matugunan ang pangangailangan sa detalyadong pag-etch at pag-etch ng compound semiconductor. Ito ay may mahusay na katiyakan ng proseso at maaaring paulit-ulit na maisagawa, at angkop para sa mga aplikasyon sa silicon semiconductors, optoelectronics, impormasyon at komunikasyon, power devices, at microwave devices.

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment details

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment supplier

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment factory

Applicable materials:

1. Mga materyales na batay sa silicon: silicon (Si), silicon dioxide (SiO2), silicon nitride (SiNx), silicon carbide (SiC)...

2. III-V na materyales: indium phosphide (InP), gallium arsenide (GaAs), gallium nitride (GaN)...

3. II-VI na materyales: cadmium telluride (CdTe)...

4. Mga magneticong materyales/alloy materyales

5. Mga metal na materyales: aluminum (Al), ginto (Au), tungsten (W), titanium (Ti), tantalum (Ta)...

6. Mga organikong materyales: photoresist (PR), organic polymer (PMMA/HDMS), organic thin film...

7. Ferroelectric/photoelectric na materyales: lithium niobate (LiNbO3)...

8. Dielectric na materyales: sapphire (Al2O3), kuwarts...

Mga kaugnay na aplikasyon:

1. Pag-ukit ng grating: ginagamit para sa 3D display, micro-optical devices, optoelectronics, atbp.;

2. Pag-ukit ng compound semiconductor: ginagamit para sa LED, laser, optical communication, atbp.;

3. Patterned sapphire substrate (PSS);

4. Pag-ukit ng lithium niobate (LiNO3): detectors, optoelectronics;

Resulta ng proseso

Pagpapatalsik ng Quartz / siliko / grating

Gamit ang BR mask upang patalsik ang mga materyales na quartz o siliko, mayroon ang paternong array ng grating ang pinakamahihinang linya hanggang 300nm at ang steepness ng gilid ng paterno ay malapit sa > 89° , na maaaring gamitin para sa 3D display, mikro optical devices, optoelectronic communication, etc

Pagpapatalsik ng Compound / semiconductor

Ang tiyak na kontrol ng temperatura ng ibabaw ng sample ay maaaring mabuti kontrolin ang anyo ng etching ng mga material na batay sa GaN, GaAs, InP at metal. Ang katangian na ito ay maaaring gamitin para sa mga device na blue LED, laser, optikong komunikasyon at iba pang aplikasyon.

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment manufacture

Pag-eetch ng materyales na silicon-based

maaring gamitin para sa etching ng mga material na batay sa siliko tulad ng Si, SiO2, at SiNx. Maaari nito realizeng etching ng linya ng siliko na higit sa 50nm at etching ng malalim na butas ng siliko na mas mababa sa 100um

Espesipikasyon

Paggawa ng proyekto at diagram ng estruktura ng makina

Butir	MD150S-ICP	MD200S-ICP	MD150CS-ICP	MD200CS-ICP	MD300C-ICP
Sukat ng Produkto	≤6 inches	≤8 inches	≤6 inches	≤8 inches	Pasadyang≥12pulgada
SRF Baterya ng kagamitan	0~1000W/2000W/3000W/5000W Aypawat, awtomatikong pagsusulatan\, 13.56MHz/27MHz
BRF Baterya ng kagamitan	0~300W/0~500W/0~1000WAypawat, awtomatikong pagsusulatan, 2MHz/13.56MHz
Molecular Pump	Hindi korosibuhay: 600/1300 (L/s)/Pasadya			Kontra-korosyon: 600/1300 (L/s)/Pasadya		600/1300(L/s)/Pasadya
Foreline pamp	Mekanikal na pampamiglas / yuto pump			Anti-korosyon na yuto pump		Mekanikal na pampamiglas / yuto pump
Unang pampamiglas na pampamiglas	Mekanikal na pampamiglas / yuto pump			Mekanikal na pampamiglas / yuto pump
Prosesong presyon	Hindi kontroladong presyon/0-0.1/1/10Torr kontroladong presyon
Uri ng gas	H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/NH3/C2F6/Pasadyal (Hanggang sa 12 channel, walang korosyong at toksikong gas)			H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/CHF3/ C4F8/NF3/NH3/C2F6/Cl2/BCl3/HBr/ Pasadyal(Hanggang sa 12 channel)
Hanay ng gas	0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/1000sccm/Pasadyal
LoadLock	Oo/Hindi			Oo
Mga halaman ng kontrol sa temperatura	10°C~Kabahayan~/ -30°C~150°C ~/Pasadya			-30°C~200°C~/Pasadya
Paggamit ng helium para sa pag-init	Oo/Hindi			Oo
Paglilinis sa loob ng kavityahe	Oo/Hindi			Oo
Kontrol sa temperatura ng pader ng kavityahe	Hindi/Kabahayan tem-60/120°C			Kabahayan tem~60/120°C
Control System	Awtomatiko/bipinili
Materyales para sa etching	Base sa siklo: Si/SiO2/ SiNx/ SiC..... Materyales na organiko: PR/Organiko pelikula......			Base sa siklo: Si/SiO2/SiNx/SiC III-V: InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI: CdTe...... Materyales pang-magnet / anyo ng materyales Mga materyales na metaliko: Ni\/Cr\/Al\/Cu\/Au... Mga materyales na organiko: PR\/Pelikula Organiko...... Malalim na etching ng silicon

Packing at Pagpapadala

Madalas Itanong

1. Tungkol sa Presyo:

Lahat ng aming presyo ay kompetitibo at nakakausap. Ang presyo ay may babagong depende sa konpigurasyon at kumplikadong customisasyon ng iyong device.

2. Tungkol sa Sample:

Maaari naming ibigay ang serbisyo ng paggawa ng sample para sa iyo, ngunit maaaring ipagbigay mo ang ilang bayad.

3. Tungkol sa Pagbabayad:

Pagkatapos ayusin ang plano, kailangan mong magbayad ng deposito muna, at simulan ng fabrica ang paghahanda ng mga produkto. Pagkatapos maayos ang equipment at bayad mo ang babal na halaga, ipapadala namin ito.

4. Tungkol sa Pagpapadala:

Pagkatapos matapos ang paggawa ng equipment, ipapadala namin sa iyo ang video ng pag-aasang paunlaran, at maaari mo ring pumunta sa lugar upang inspekshunan ang equipment.

5. Pag-install at Pag-debug:

Pagdating ng equipment sa iyong fabrica, maaaring ipadala namin ang mga engineer upang mag-install at mag-debug ng equipment. Ibibigay namin sa iyo ang iba pang presyo para sa serbisong ito.

6. Tungkol sa Garanty:

Ang aming equipment ay may 12-bulanang guarantee period. Pagkatapos ng guarantee period, kung sinomang parte ay nasira at kinakailanganang palitan, iuuulit namin ang kosilyo lamang.

7. Serbisyo Pagkatapos ng Pagbebenta:

Lahat ng makina ay may warranty na higit sa isang taon. Ang aming mga inhinyerong teknikal ay palaging online upang magbigay sa iyo ng serbisyo para sa pag-install, pag-debug, at pangangalaga ng kagamitan. Maaari naming ibigay ang serbisyo sa lugar para sa pag-install at pag-debug ng espesyal at malaking kagamitan.