Mataas na katuturan Chemical Mechanical Planarization CMP proseso , China Mataas na katuturan Chemical Mechanical Planarization CMP proseso Manufacturers, Suppliers, Factory

Paglalarawan ng Produkto

Mataas na Katumpakan Chemical mechanical planarization (CMP) Kagamitan

Matapat na CMP kagamitan nagkakamit ng mabuting pagtanggal ng dagdag na mga materyales sa ibabaw ng wafer at pook na nanoskalang planarization sa pamamagitan ng synergistiko na epekto ng kimikal na korosyon at mekanikal na pagsisiklab.

Multi-purpose chemical polishing machine, eksaktong disenyo para sa CMP at coating polishing aplikasyon na kailangan ng makabuluhan na heometrikong katumpakan at kalidad ng ibabaw, maaaring makamit ang antas ng sub-nanometer Ra.

Ang device na ito ay maaaring mag-perform ng presisong pagpolish sa antas ng nanometer sa mga individual na mold, pati na rin ang pagpolish ng mga sheet na mababa sa diametro hanggang 8 inches. Sa dagdag din, maaari itong gamitin sa mga hindi tradisyonal na aplikasyon ng pagpolish tulad ng hard substrate polishing, Epi surface preparation, at chip recycling improvement.

Upang mapaganda ang mga machine sa serye ng CDP para sa iba't ibang materyales at mga kinakailangang proseso, ginagawa at disenyo ng mga tekniko ang mga katumbas na template ng pagpolish ayon sa teknikal na mga kinakailangan ng gumagamit upang tiyakin na makamtan ang mga kinakailangan ng proseso ng CMP. Ang imahe sa kaliwa ay nagpapakita ng saklaw ng isang single wafer na may diametro ng 8 inches.

Upang siguruhing may wastong pagsukat at kontrol sa mga wafer o device na pinopolish sa mga machine ng CDP, inilimbag namin ang isang EPD system, kung saan ang disenyo ng programa ng CDP scanning graphics ay maaaring mag-run sa mga laptop. Ang programa na ito ay sumusubaybayan at naglalathala ng proseso ng pagpolish sa pamamagitan ng grapiko, at awtomatikong tumitigil kapag nakarating na sa endpoint.

Iwasan ang labis na pagpolish. Maaaring gamitin din ang CDP scanning bilang isang seguridad na katangian. Kung nakita man ay may mga pagbabago sa sinusuriyang proseso ng parameter, ang CDP Scan ay magiging aktibo ng isang audio alarm upang tulungan ang pag-iwas sa labis na pagpolish. Halimbawa nito ay ang pagbago ng bilis ng carrier mula sa itinakdang halaga. Babalaan ng EPD system ang sitwasyong ito dahil babaguhin ang antas ng sikat sa pagitan ng pad at ng material na pinopolihami dahil sa anumang pagbabago sa bilis ng carrier, na maaaring pumasok sa panganib ang matagumpay na planarization ng wafer/C. Sa puntong ito, magiging aktibo ng isang makikiling na babala ang EPD system bago tanggalin ang fixture mula sa ibabaw ng pad, o maaari itong itakda sa awtomatikong pagsara.

Maaaring mas mauna ang gamit ng ACP system sa malawak na saklaw ng mga aplikasyon, at ipinapakita ng grafiko ang CMP process na resulta para sa siliko oxide, bako, siliko nitride, aluminio bako, siliko germanium, at tungsten.
Ipinaliwanag ng grafiko na pagkatapos ng CMP process, maaaring umabot ang WTWNU sa 2.82%.

Aplikasyon

Planarization ng siliko wafer
II-V compound planarization
Pagpapalaya ng oksido
Pagpipitak ng substrate ng anyo na infranggelo
Pagpapalaya ng substrate ng sapphire, gallium nitride, at silicon carbide, Pagpapalaya ng EPI substrate
Pagbubulag ng SOS at SOI wafers sa ibaba ng 20 mikron
Pagsasabuhay ng hierarchical reverse o mga aplikasyon ng FA

Espesipikasyon

Supply ng Kuryente	220v 10A
Laki ng Wafer	4”/100mm 6”/150mm 8”/200mm 12”/300mm
Diameter ng trabaho ng disk	520mm, 780mm
Bilis ng trabaho ng disk	0-120rpm
Bilis ng fixture	0-120rpm
Frekwensiya ng swing ng fixture	0-30spm
Presyon sa likod ng wafer	0-150psi
Presyon sa sentro ng punto ng wafer	0-50psi
Panahon ng Oras	0-10 h
Kanal ng Pagpapainom	≥2
Bilis ng feed	0-150ml/min

Packing at Pagpapadala

Profile ng Kumpanya

Ang Minder-Hightech ay representante ng pagsisela at serbisyo sa industriya ng kagamitan ng semiconductor at elektронiko. Simula noong 2014, ang kompanya ay nakatuon sa pag-aalok ng mga Solusyon na Ipinapahiwatig, Mapanibugnay, at Isang-Tulayan para sa makinarya.

Madalas Itanong

1. Tungkol sa Presyo:
Lahat ng aming presyo ay kompetitibo at nakakausap. Ang presyo ay may babagong depende sa konpigurasyon at kumplikadong customisasyon ng iyong device.

2. Tungkol sa Sample:
Maaari naming ibigay ang serbisyo ng paggawa ng sample para sa iyo, ngunit maaaring ipagbigay mo ang ilang bayad.

3. Tungkol sa Pagbabayad:
Pagkatapos ayusin ang plano, kailangan mong magbayad ng pagsisimula sa amin, at magdadala ang fabrica ng mga produkto. Pagkatapos ay handa na ang
kagamitan at nagbabayad ka ng babalik na pera, ipapadala namin ito.

4. Tungkol sa Pagpapadala:
Pagkatapos matapos ang paggawa ng equipment, ipapadala namin sa iyo ang video ng pag-aasang paunlaran, at maaari mo ring pumunta sa lugar upang inspekshunan ang equipment.

5. Pag-install at Pag-debug:
Pagdating ng equipment sa iyong fabrica, maaaring ipadala namin ang mga engineer upang mag-install at mag-debug ng equipment. Ibibigay namin sa iyo ang iba pang presyo para sa serbisong ito.

6. Tungkol sa Garanty:
Ang aming equipment ay may 12-bulanang guarantee period. Pagkatapos ng guarantee period, kung sinomang parte ay nasira at kinakailanganang palitan, iuuulit namin ang kosilyo lamang.