Ipinahayag
Binubuo ito ng power supply na may ion, sistema ng vacuum, sistema ng pagpuno ng gas, awtomatikong sistema ng kontrol, at iba pang bahagi. Ang pangunahing prinsipyo ng paggana nito ay ang plasma ay maaaring mag-ion ng gas sa ilalim ng isang kontroladong at kwalitatibong paraan kapag nasa estado ng vacuum. Ginagamit ang vacuum pump upang paalisin ang hangin sa loob ng silid hanggang sa maabot ang vacuum na 10–40 Pa, at pagkatapos ay ginagawa ang ionization ng gas sa ilalim ng epekto ng high-frequency generator, na nagbubuo ng plasma (ikaapat na estado ng matter). Ang kabilang na katangian nito ay ang mataas na uniformidad ng glow discharge, na ayon sa iba’t ibang uri ng gas ay naglalabas ng nakikitang kulay na liwanag mula sa asul hanggang malalim na purple, habang ang temperatura ng pagproseso ng materyales ay malapit sa temperatura ng silid. Ang mga napakagalaw na partikulo na ito ay kumikilos kasama ang ibabaw na pinoproseso upang makamit ang iba’t ibang modipikasyon sa ibabaw tulad ng hydrophilicity ng ibabaw, pagtutol sa tubig, mababang friction, mataas na antas ng paglinis, aktibasyon, at etching.
Mga Kalamangan ng Paggamit ng Plasma: 1. Teknolohiyang Pangangalaga sa Kapaligiran: Ang proseso ng pagkilos ng plasma ay isang coherent na reaksyon sa gas-at-solid na yugto, na hindi gumagamit ng tubig, hindi nangangailangan ng dagdag na kemikal, at hindi nagpapal загdumi sa kapaligiran. 2. Versatility (Kakayahang Magamit sa Maraming Uri): anuman ang uri ng substrate na gagawin, maaari itong iproseso—halimbawa, ang mga metal, semiconductor, oxide, at karamihan sa mga polymer material ay maaaring ma-proseso nang maayos; 3. Mababang Temperatura: malapit sa normal na temperatura, lalo na angkop para sa mga polymer material, mas mahaba ang panahon ng imbakan at mas mataas ang surface tension kumpara sa mga paraan ng corona at apoy. 4. Malakas na Function (Kakayahang Magbigay ng Bagong Katangian): nakatuon lamang sa maliit na bahagi ng ibabaw ng polymer material (10–1000 Å), na maaaring magbigay ng isa o higit pang bagong function habang pinapanatili ang sariling katangian ng materyal; 5. Mababang Gastos: ang device ay simple, madaling gamitin at pangalagaan, at maaaring patakbuhin nang patuloy. Madalas, ang ilang bote ng gas ay maaaring pampalit sa ilang libong kilogram ng cleaning fluid, kaya’t ang gastos sa paglilinis ay magiging malaki ang pagkakaiba kumpara sa wet cleaning. 6. Kontroladong Proseso sa Buong Daloy