Material na pag-ukit na Deposito Reaksyon Ion Etching Machine RIE , China Material na pag-ukit na Deposito Reaksyon Ion Etching Machine RIE Manufacturers, Suppliers, Factory

Paglalarawan ng Produkto

RIE Reaction Ion Etching Machine

Ang mga aplikasyon sa pananaliksik ng RlE reactive ion etching machines sa semiconductor manufacturing at micro-nano processing fields ay kadalasang nakikita sa pagproseso ng mga nanoscale structures, pag-etch ng mga bagong materyales, pagmamanupaktura ng mga kumplikadong device, at mga pag-unlad sa teknolohiya na nag-uumapaw sa iba't ibang disiplina. Ang pangunahing halaga nito ay nakasalalay sa pagkamit ng mataas na presyon at mataas na selektibidad sa pagtanggal ng materyales sa pamamagitan ng pinagsamang kontrol ng pisikal na pagbambang at kemikal na reaksiyon. Sumusuporta sa pagtuklas ng pinakabagong teknolohiya sa semiconductor at inobasyon ng mga device.

Mga tampok ng kagamitan:

1. Mataas na presyon at anisotropiya: Maaari itong mag-etch ng mga imahe na may matatarik na gilid at tumpak na sukat.
2. Magandang uniformity at repeatability: angkop para sa malakihang produksyon.
3. Malawak na kagamitan sa materyales: Sa pamamagitan ng pagpili ng iba't ibang kumbinasyon ng gas, maaaring i-etch ang iba't ibang materyales (semiconductor, dielectric, metal, at iba pa).
4. Mataas na ratio ng selektibidad: Maaaring eksaktong i-etch ang mga tiyak na materyales nang hindi nagdudulot ng malaking pinsala sa ibang mga materyales.
5. Paglilinis: Tuyong proseso, pinipigilan ang mga problema tulad ng paglilinis at paggamot sa basurang likido na dulot ng basang pag-etch.

Espesipikasyon

System Configuration:

Elektrikal na pagsisilbi	Chamber (Single cavity)
Elektrikal na pagsisilbi		N/A
Uri ng mas mababang elektrodo	242mm
Himpilan ng Temperatura ng Proseso	-20-100°C
Pinagmulan ng plasma	600W-1000W
Sukat ng gauge ng pressure ng proseso	100mtorr
Sistema ng vacuum	Mga yunit ng molecular pump, dry pump systems, process chamber
Bilang ng mga silid na nakaukit	Isang silid
Mga clamp	TYPE	Size/mm	Materyales
Mga clamp		N/A	8, 6, 4, 3, 2
Tagapangilngi ng dulo ng punto	Pagpipilian
Inductively coupled plasma	Pagpipilian

Teknikong Parametro:

Materyales para sa etching	Si, Sio, Sin, Sau, Pt, Al
Bilis ng pag-ukit	>20nm/min (materyales na Si02) Ang bilis ng iba't ibang materyales ay hindi magkapareho
Nakalatag na kontrol	>85°
Pamamaraan ng Pagloload	Buksan ang paglo-load
Pipelines ng gas na kinokontrol ng MFC	Anim na tangke ng gas ang available
Opsyon sa paglamig sa likuran gamit ang helium	Oo
Harapan-mata at pagsasalita na interface	Operasyon sa pamamagitan ng touchscreen
Mode ng operasyon	Fully automatic mode, hindi fully automatic mode
Pagpili at pag-configure ng mga awtomatikong device	Maaari kang pumili sa pagitan ng imported o domestic na mga parte

Mga Kasong Paghahiling

Pakete & Paghahatod

Company Profile

Mula 2014, ang Minder-Hightech ay nagsilbing kinatawan sa benta at serbisyo sa industriya ng kagamitan sa Semiconductor at Electronic product. Nak committed kami sa pagbibigay sa mga customer ng Superior, Reliable, at One-Stop Solutions para sa kagamitang pang-makina. Hanggang sa ngayon, ang mga produkto ng aming brand ay kumalat na sa mga pangunahing bansang industrialisado sa buong mundo, tumutulong sa mga customer na mapabuti ang epektibidad, mabawasan ang gastos, at mapabuti ang kalidad ng produkto.

FAQ

1. Tungkol sa Presyo:
Lahat ng aming presyo ay kompetitibo at nakakausap. Ang presyo ay may babagong depende sa konpigurasyon at kumplikadong customisasyon ng iyong device.

2. Tungkol sa Sample:
Maaari naming ibigay ang serbisyo ng paggawa ng sample para sa iyo, ngunit maaaring ipagbigay mo ang ilang bayad.

3. Tungkol sa Pagbabayad:
Pagkatapos ayusin ang plano, kailangan mong magbayad ng deposito muna, at simulan ng fabrica ang paghahanda ng mga produkto. Pagkatapos maayos ang equipment at bayad mo ang babal na halaga, ipapadala namin ito.

4. Tungkol sa Pagpapadala:
Pagkatapos matapos ang paggawa ng equipment, ipapadala namin sa iyo ang video ng pag-aasang paunlaran, at maaari mo ring pumunta sa lugar upang inspekshunan ang equipment.

5. Pag-install at Pag-debug:
Pagdating ng equipment sa iyong fabrica, maaaring ipadala namin ang mga engineer upang mag-install at mag-debug ng equipment. Ibibigay namin sa iyo ang iba pang presyo para sa serbisong ito.

6. Tungkol sa Garanty:
Ang aming equipment ay may 12-bulanang guarantee period. Pagkatapos ng guarantee period, kung sinomang parte ay nasira at kinakailanganang palitan, iuuulit namin ang kosilyo lamang.

7. Serbisyo Pagkatapos ng Pagbebenta:
Lahat ng makina ay may warranty na higit sa isang taon. Ang aming mga inhinyerong teknikal ay palaging online upang magbigay sa iyo ng serbisyo para sa pag-install, pag-debug, at pangangalaga ng kagamitan. Maaari naming ibigay ang serbisyo sa lugar para sa pag-install at pag-debug ng espesyal at malaking kagamitan.