


Wafersstorlek |
4”~ 8” platta |
Plattjocklek |
100~750 mikroner |
Platttyp |
Si, SiC, GaN, eller andra material |
Filmtyp |
Blå film, UV-film Bredd: 230 ~ 300 mm Längd: 100 m Tjocklek: 0,05 ~ 0,2 mm |
Waferbärarring |
6”, 8” DISCO |
Metod för laddning och avladdning |
Manuell placering och borttagning av wafer/stång |
Filmpositioneringsnoggrannhet |
±0.5mm Standard 6” och 8” plattor för 6” och 8” wafers |
Vakuumpump |
Minder-Hightech |
Antistatisk kontroll |
Dejoniseringsventilator |
Styrenhet |
Baseras på PLC-kontroll, med 10-tum touchscreen |
Säkerhetsskydd |
Utrustad med ljusgårdsskydd och nödstoppknapp |
Strömförsörjning SPÄNNING |
Enfas AC 220V, 16A |
Komprimerad Luft |
0,45~0,6MPa, flöde 70L/min |
Maskinhölje |
Vit plastbespruten metallhölje |
Volym |
850mm (bredd)*1750mm (djup)*1970mm (höjd) |
Nettovikt |
480 kg |


Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. All Rights Reserved