Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Få offert

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Hemsida
Om oss
MH Equipment
Lösning
Användare utomlands
Video
Kontakta oss
Hem> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • Reactive Ion Etching System RIE
  • Reactive Ion Etching System RIE
  • Reactive Ion Etching System RIE
  • Reactive Ion Etching System RIE
  • Reactive Ion Etching System RIE
  • Reactive Ion Etching System RIE
  • Reactive Ion Etching System RIE
  • Reactive Ion Etching System RIE
  • Reactive Ion Etching System RIE
  • Reactive Ion Etching System RIE
  • Reactive Ion Etching System RIE
  • Reactive Ion Etching System RIE

Reactive Ion Etching System RIE

Få en gratis offert
Produktbeskrivning

Reactive ion etching (RIE)

Reaktiv jonetsning (RIE) kan användas för att förbereda mikro-nanostrukturer och är en av halvledarskapandens tillverkningsprocess tekniker. Under RIE-etsningsprocessen bildar de olika aktiva partiklarna i plasmat volatila produkter med materialets yta. Dessa produkter tas bort från materialets yta, och slutligen uppnås anisotropisk mikrostrukturetsning av materialets yta. Serien av reaktiv jonetsare (RIE) bygger på plattkapps kapacitivt kopplad plasma-teknik och är lämplig för mönsterad etsning av silikabaserade material som enkristallssilikon, polycrystalline silikon, silikonnitrid (SiNy), silikoxid (SiO), kvarts (Quartz) och kolsilicium (SiC); kan användas för mönsterande och materialdelning av organiska material som fototacksam (PR), PMMAHDMS och andra material; kan användas för fysisk etsning av metallmaterial som nickel (Ni), krom (Cr) och keramiska material; kan användas för rumstemperaturindiumfosfid (InP) materialetsning. För vissa etsningar med högre processkrav kan vår ICP RIE-etsning också användas.

Huvudkonfiguration:

1. Stödjer storsample: 4, 8, 12 tum, kompatibla med olika småsamples, stöder anpassning
2. RF-plasmakraftomfång: 300/500/1000 W valfritt;
3. Molekylpump: 620/1300 //s valfritt, valfri korrosionsresistenta pumpset;
4. Förpump: mekanisk oljepump/torkpump valfritt;
5. Tryckreglering: 0 ~1 Torr valfritt; konfiguration utan tryckreglering kan också väljas,
6. Processgas: upp till 9 processgaser kan installeras samtidigt; temperatur: 10 grader ~ rumstemperatur/-30 grader ~ rumstemperatur/skalbar temperaturintervall,
7. Bak heliumkylning kan konfigureras enligt tillämpningen;
8. Borttagbar föroreningsläggning;
9. Lastlås valfritt;
10. Fullständigt automatiskt styrsystem med en-knappskontroll;

RIE Gäller för material:

1. Kolsäurebaserade material: kolsäure (Si), kolsyrefläktning (SiO2), kolsyretetraflorid (SiNx), kolsyretetraiodid (SiC)
2. III-V material: indiumfosfid (InP), galiumarsenid (GaAs), galiumnitrid (GaN)
3. II-VI material: kadmiumtelurid (CdTe)
4. Magnetiska material/legeringsmaterial
5. Metallmaterial: aluminium (AI), guld (Au), wolfram (W), titanium (Ti), tantall (Ta)
6. Organiska material: fototacksamt (PR), organisk polymer (PMMA/HDMS), org

RIE Relaterade Tillämpningar:

1. Graveringsbearbetning av silikongrundade material, nanoimpräntmönster, arraymönster och linsmönster;
2. Rumstemperatur-ättring av indiumfosfid (InP), mönster-ättring av InP-baserade enheter inom optisk kommunikation, inklusive vägledningsstrukturer, resonanskavitetsstrukturer och kappsstrukturer;
3. Ättring av SiC-material, lämplig för mikrovågsenheter, strömkraftsenheter etc.;
4. Fysisk spalteringsättring används för vissa metaller, såsom nikkel (Ni), krom (Cr), keramik och andra material som är svåra att ätra kemiskt, och mönster-ättring av material uppnås genom fysisk bombardering;
5. Ättring av organiska material används för ättring, rensning och borttagning av organiska material som fototolk (Photo Resist), PMMA, HDMS, Polymer;
6. Lagerskiftsättring för chipfelanalys (Failure Analysis-FA);
7. Graverings av tvådimensionella material: W, Mo tvådimensionella material, graphene;
Resultat av tillämpning:
Projektkonfiguration och maskinstruktdiagram
Vara
MD150-RIE
MD200-RIE
MD200C-RIE
Produktstorlek
≤6 tum
≤8 tum
≤8 tum
RF-effektkälla
0-300W/500W/1000W Justerbar, automatisk matchning
Molekylpump
-\/620(L\/s)\/1300(L\/s)\/Custom
Antiseptisk620(L\/s)\/1300(L\/s)\/Custom
Forelinepump
Maskinpump\/torkpump
Torrpump
Processtryck
Obekämpad tryck\/0-1Torr reglerat tryck
Gastyp
H\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/SF6\/CF4\/
CHF3\/C4F8\/NF3\/Anpassad
(Upp till 9 kanaler, inga korrosiva & giftiga gaser)
H2\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/F6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Cl2\/BCl3\/HBr(Upp till 9 kanaler)
Gasområde
0~5sccm\/50sccm\/100sccm\/200sccm\/300sccm\/500sccm\/anpassad
LoadLock
Ja/Nej
Ja
Provtemperaturkontroll
10°C~Rumstemperatur/-30°C~100°C/Anpassad
-30°C~100°C/Anpassad
Bakheliumkylning
Ja/Nej
Ja
Bearbetningshållvattlining
Ja/Nej
Ja
Hållväggstemperaturkontroll
Nej/Rumstemperatur~60/120°C
Rumstemperatur-60/120°C
Kontrollsystem
Auto/anpassad
Graveringsmaterial
Silikombaserad: Si/SiO2/SiNx···
IV-IV: SiC
Magnetiska material/lägermaterial
Metallmaterial: Ni/Cr/Al/Au.....
Organiskt material: PR/PMMA/HDMS/Organisk
filmbaserat......
Silikombaserad: Si/SiO2/SiNx......
III-V (not 3): InP/GaAs/GaN......
IV-IV: SiC
II-VI (not 3): CdTe......
Magnetiska material/lägermaterial
Metallmaterial: Ni/Cr/A1/Au......
Organisk material: PR/PMMA/HDMS /organisk film...
Verkliga bilder från laboratorier och fabriker
Förpackning & Leverans
Företagsprofil
Minder-Hightech är försäljning och service representant inom utrustning för halvledar- och elektronikproduktsindustrin. Sedan 2014 har företaget ägnat sig åt att erbjuda kunderna Överlägsna, Pålitliga och Enskede Lösningar för maskinutrustning.
Vanliga frågor
1. Om pris:
Alla våra priser är konkurrenskraftiga och förhandlingsbara. Priset varierar beroende på konfigurationen och komplexiteten av anpassningen av din enhet.

2. Om provproduktion:
Vi kan erbjuda provproduktions tjänster, men du kanske måste betala vissa avgifter.

3. Om betalning:
När planen har bekräftats behöver du betala en förhandsbetalning först, och fabriken börjar då förbereda varorna. När utrustningen är klar och du har betalat restbeloppet skickar vi den.

4. Om leverans:
När tillverkningen av utrustningen är klar skickar vi dig en acceptansvideo, och du kan också komma till platsen för att inspektera utrustningen.

5. Installation och justering:
När utrustningen ankommer till din fabrik kan vi skicka ut ingenjörer för att installera och felsöka utrustningen. Vi kommer att ge dig ett separat offert för den här tjänstekostnaden.

6. Om garantin:
Vår utrustning har en garantiavtal på 12 månader. Efter garantiavtalet, om några delar skadas och behöver bytas ut, kommer vi endast att debitera kostnadspriset.

Mer produkter

Fråga

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Integritspolicy

Fråga Email WhatsApp Top
×

Kom i kontakt