Höjdpunkt
Introduktion: Instrumentet för magnetron-sputterbeläggning är en kostnadseffektiv utrustning för magnetron-sputterbeläggning som vår företag har utvecklat självständigt och som kännetecknas av standardisering, modulär konstruktion och anpassningsmöjligheter. Magnetrontargeten finns i storlekarna 1 tum, 2 tum och 3 tum, och kunderna kan välja enligen efter underlagets storlek som ska beläggas; strömförsörjningen är en hög-effektiv likströmskälla på 500 W, vilken kan användas för högenergi metall-sputterbeläggning. Beroende på experimentella krav kan även andra specifikationer av likströms- eller RF-strömförsörjningar väljas för att möjliggöra beläggningsoperationer med olika material.
Applikation: Kan användas för att framställa enskilda eller flerskikts ferroelektriska tunna filmer, ledande filmer, legeringsfilmer, halvledarfilmer, keramiska filmer, dielektriska filmer, optiska filmer m.m.