MDLB-ASD2C2D Automatiskt Beklädnings- och Utvecklingsmaskin , China MDLB-ASD2C2D Automatiskt Beklädnings- och Utvecklingsmaskin Manufacturers, Suppliers, Factory

Produktbeskrivning

MDLB-ASD2C2D Automatiskt Beklädnings- och Utvecklingsmaskin

Utrustningen har en rostfri stålram, och den inre och yttre plåten är av speglat rostfritt stål. Botten av utrustningen är utrustad med allmänna hjul och horisontell justeringsfunktion. På taket finns en 3-färgsignalstorn med en bipare. Den övre delen av utrustningen är styrsystemet och FFU, mitten delen är processenheten, och den nedre delen är kemiska rörledningssystemet. Alla delar som kommer i direkt kontakt med kemikalier är gjorda av korrosionsbeständiga material, såsom SUS304, PP, PTFE osv. Luftledningar är gjorda av PU-rör, och kemiska ledningar är gjorda av korrosionsbeständiga PFA-rör. Människa-maskin operativa gränssnittet på enheten är en 17-tums touchskärm, vilken kan uppnå funktioner som att köra enheten, inställa formler och söka loggar. SPIN-enheten och andra processkammrar är utrustade med.
Gul ljus för enkel underhållning av utrustningen. Utrustningsutseendet visas i figur 1.1.1, och utrustningslayouten visas i figur 1.1.2.

MDLB-ASD2C2D Automatic Coating and Developing Machine supplier

MDLB-ASD2C2D Automatic Coating and Developing Machine details

Specificitet

	projekt	Specifikationer	anmärkningar
1	Utrustningsöversikt	Utrustningsnamn: Fullständigt automatisk enhetlig limutvecklingsmaskin
				Utrustningsmodell: MD-2C2D6
				Bearbetningswafer specificerings: kompatibel med 4/6-tums standardwafers
				Processflöde för enhetlig lim: Blomsterkorgsklyvning → centrering → enhetlig lim (utrinnande → enhetlig lim → kantföring, baksida tvättning) → varmvak → kallvak → korgplacering Utvecklingsprocessflöde: Blomsterkorgsklyvning → centrering → utveckling (utvecklingslösning → avioniserat vatten, baktvättning → kvävedrorning) → varmvak → kallvak → korgplacering
				Totala storleken (ungefär): 2100mm (B) * 1800mm (Dj) * 2100mm (H)
				Kemikaliehyllans storlek (ungefär): 1700(B) * 800(Dj) * 1600mm (H)
				Totalvikt (ungefär): 1000kg
				Arbetsbänks höjd: 1020 ± 50mm
2	Kassettmodul	Antal: 2
				Kompatibel storlek: 4/6 tum
				Kassettdetektering: mikroväxelspänningsdetektering
				Utträdedsdetektering: Ja, reflektiv sensor
3	robot	Antal: 1
				Typ: Dubbelarmsrobot med vakuumadsorption
				Frihetsgrader: 4-axel (R1, R2, Z, T)
				Fingermaterial: keramik
				Metod för substraatfixering: vakuumadsorptionsmetoden
				Kartläggningsfunktion: Ja
				Positionsnoggrannhet: ± 0,1mm
4	Centreringsenhet	Kvantitet: 1 set	Valfri optisk justering
					Justeringsmetod: mekanisk justering
					Centreringsnoggrannhet: ± 0,2mm
5	Enhet för jämn klibbning	Antal: 2 set (följande är konfigurationerna för varje enhet)
				Spindelrotationshastighet: -5000rpm~5000rpm	försättningsroll
				Spindelns rotationsnoggrannhet: ± 1rpm (50rpm~5000rpm)
				Minsta justering av spindelns rotationshastighet: 1rpm
				Maximal acceleration av spindelns rotation: 20000rpm/s	försättningsroll
				Dropparm: 1 st
				Fotoresevtubväg: 2 vägar
				Fotoresevutsprutningsmunstycke: 2.5mm
				Fotoresevinsulation: 23 ± 0.5 ℃	valfritt
				Fuktningsutsprutningsmunstycke: Ja
				RRC: Ja
				Buffer: Ja, 200ml
				Limdruppmetod: centralt dröpande och skanningsdröpande är valfritt
				Kantavlägsningsarm: 1 st
				Kantavlägsningsmunstyckets diameter: 0,2mm
				Kantavlägsningsvätskeflödesövervakning: flytkraftmätare
				Flödesintervall för kantavlägsningsvätska: 5-50ml/min
				Rensningspipeline: 2 sätt ( vardera 4/6 tum med 1 kanal)
				Rensningsflödesövervakning: flytkraftmätare
				Rensningsvätskans flödesintervall: 20-200ml/min
				Chipfixeringsmetod: liten yta vakuumadsorption Chuck
				Vakuumtrycksalarm: digital vakuumtrycksensor
				Fäste material: PPS
				Koppmaterial: PP
				Kopputloppövervakning: digital trycksensor
6	Utvecklingsenhet	Skyddsdörr: ja
				Antal: 2 set (följande är konfigurationerna för varje enhet)
				Spindelrotationshastighet: -5000rpm~5000rpm	försättningsroll
				Spindelns rotationsnoggrannhet: ± 1rpm (50rpm~5000rpm)
				Minsta justering av spindelns rotationshastighet: 1rpm
				Maximal acceleration av spindelns rotation: 20000rpm/s	försättningsroll
				Utvecklingsarm: 1 st
				Utvecklingsledning: 2-vägs (fläktformad/kolumnformad duksel)
				Filtrering av utvecklare: 0,2 µm
				Temperaturreglering av utvecklare: 23 ± 0,5 ℃	valfritt
				Utvecklingslösning strömomfattning: 100~1000ml/min
				Rörelsemät för utvecklingsarmen: fast punkt eller skanning
				Fusionsarm: 1 st
				Avionerat vattenledning: 1 krets
				Avionerat vattenmunstycksdiameter: 4mm (inntilldiameter)
				Avionerat vatten strömomfattning: 100~1000ml/min
				Kolhydratdruckspipeline: 1 krets
				Kolhydratmunstycksdiameter: 4mm (inntilldiameter)
				Kolhydratströmningomfattning: 5-50L/min
				Utvecklare, avionerat vatten, kolhydratström övervakning: flytkammare
				Rensningspipeline: 2 sätt ( vardera 4/6 tum med 1 kanal)
				Rensningsflödesövervakning: flytkraftmätare
				Rensningsvätskans flödesintervall: 20-200ml/min
				Chipfixeringsmetod: liten yta vakuumadsorption Chuck
				Vakuumtrycksalarm: digital vakuumtrycksensor
				Fäste material: PPS
				Fäste material: PPS
				Koppmaterial: PP
				Kopputloppövervakning: digital trycksensor
7	Tackifieringsenhet	Antal: 2	valfritt
				Temperaturintervall: rumstemperatur~180 ℃
				Temperaturjämnhet: Rumstemperatur~120 ℃± 0,75 ℃ 120,1℃~ 180℃ ± 1,5℃ (Ta bort 10mm från kanten, utom för utskjutningspinnhålet)
				Minsta justeringsmängd: 0,1 ° C
				Temperaturregleringsmetod: PID-reglering
				PIN-höjdintervall: 0-20mm
				PIN-material: kropp SUS304, PIN-pinnkapps PI
				Bakningsavstånd: 0,2mm
				Övertemperaturalarm: alarm för positiv och negativ avvikelse
				Försörjningsmetod: Bubbling, 10 ± 2ml/min
				Kamervacuum: -5-20KPa
8	Hettplattanhet	Antal: 10
				Temperaturintervall: rumstemperatur~250 ℃
				Temperaturjämnhet: Rumstemperatur~120 ℃± 0,75 ℃ 120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ 180.1℃~250℃ ±2.0℃ (Ta bort 10mm från kanten, utom för utskjutningspinnhålet)
				Minsta justeringsmängd: 0.1 ℃
				Temperaturregleringsmetod: PID-reglering
				PIN-höjdintervall: 0-20mm
				PIN-material: kropp SUS304, PIN-pinnkapps PI
				Bakningsavstånd: 0,2mm
				Övertemperaturalarm: alarm för positiv och negativ avvikelse
9	Kallplattanhet	Antal: 2
				Temperaturintervall: 15-25 ℃
				Kylmetod: konstant temperatur cirkulationspumpkyla
10	Kemiskt försörjningssystem	Photoresistlagring: pneumatisk klisternpump * 4 set (Valfritt tank eller elektrisk klisternpump)
				Klistersprutningsvolym: maximalt 12ml per session, noggrannhet ± 0.2ml
				Kantborttagning/bakvättning/RRC-försörjning: 18L trycktank * 2 (automatisk återfyllning)
				Nivåövervakning för kantborttagning/bakvättning/RRC: fotoelektrisk sensor
				Nivåövervakning av photoresist: fotoelektrisk sensor
				Avlopp för likformig klisterslängd: 10L avloppsbehållare
				Utviklingsmedelsförsörjning: 18L trycktank * 4 (Lagras i kemikaliehyllan utanför maskinen)
				Deioniserat vattenförsörjning: direktförsörjning från fabriken
				Utveckling av vätskönivåövervakning: fotoelektrisk sensor
				Avlopp för utvecklare: fabriksavlopp
				Leverans av tacksammande medel: 10L trycktank * 1, 2L trycktank * 1
				Nivåövervakning av tacksammande medel: fotoelektrisk sensor
11	kontrollsystem	Styrmetod: PLC
				Människa-maskin operativgränssnitt: 17 tum touchskärm
				Obrytbar strömforespole (UPS): Ja
				Ställ in krypteringsbehörigheter för enhetsoperatörer, tekniker, administratörer
				Signalstapeltyp: rött, gult, grönt 3 färger
12	Systemtillförlitlighetsindikatorer	Uptime: ≥95%
				MTBF: ≥ 500h
				MTTR: ≤ 4h
				MTBA: ≥24h
				Fragmenteringsgrad: ≤ 1/10000
13	Andra funktioner	Gul ljus: 4 set (position: ovanför limblandnings- och utvecklingsenheten)
				THC: Ja, 22,5 ℃± 0,5 ℃, 45% ± 2%	valfritt
				FFU: Klass 100, 5 set (processenhet och ROBOT-område)

Förpackning & Leverans

MDLB-ASD2C2D Automatic Coating and Developing Machine manufacture

Företagsprofil

Vi har 16 års erfarenhet av utrustningsförsäljning. Vi kan erbjuda en total lösning för professionella semikonduktorequipageringslinjer från Kinas framsidan och bakslut.