





|
Vakuumplasshuvud (200) |
||
|
Utrustningsstorlek |
1050×1700×1050mm (bredd, höjd och djup) |
|
|
vikt |
800 kg |
|
|
krävd effekt |
AC380V, 50/60Hz, 5 ledare, 30A |
|
|
Plasmageneratorns specifikationer |
||
|
nätström |
radarfrekvens |
IF |
|
0~1000W |
0-2000W |
|
|
Nätfrekvens |
13,56 MHz |
40 KHz |
|
Vakuumsystem |
||
|
vakuumpump |
Feiyue enkla pump VSV100+Both Roots pump BSJ70 |
|
|
vacuumledning |
Alla rostfria stålrör och högkvalitativa vakuum bellows |
|
|
material |
Aluminiumlegering |
|
|
tjocklek |
25 mm |
|
|
tätning |
Militär nivå värmsluten tätning |
|
|
Hålrummets inre dimensioner |
600×600×600mm (B×H×D) |
|
|
Effektiv storlek på elektrodblad |
472 X 451mm (B×D) |
|
|
tillgängligt utrymme |
35 mm |
|
|
Lay-out för elektrodplatta |
Horisontell elektrodpalt |
|
|
arbetslåda |
En uppsättning är standard, och materialet är valfritt (aluminium, stålmasa) |
|
|
Arbetsplats |
8 våningar |
|
|
Processgas |
||
|
Flödesområde |
0~300SCCM |
|
|
Cirkulation för processgas |
Utstyrd med O2, Ar, N2 trevägs gas |
|
|
Kontrollsystem |
||
|
systemkontroll |
PC-kontroll |
|
|
interaktivt läge |
Windows-gränssnitt |
|







Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. All Rights Reserved