






|
Plasma
|
RF
|
RF
|
||
|
Ström
|
ICP
|
1000W
|
1000W
|
|
|
BIAS
|
600w(option)
|
600w(option)
|
||
|
Tillämpningsområde
|
4~8 tum
|
4~8 tum
|
||
|
Antal enskilda bearbetningsplattor
|
1
|
2
|
||
|
Utseendet
|
1080x1840x1800mm
|
1340x2050x1800mm
|
||
|
Systemkontroll
|
Industriell styrsystem
|
Industriell styrsystem
|
||
|
Automationsnivå
|
automatisk
|
automatisk
|
||






Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. All Rights Reserved