
| Modell  | MDTS-WT2200  | 
| Antal tunnande axlar  |  2 | 
| Antal arbetsbänkar  | 3, Indexmetod  | 
| Smygspindel  | Antal luftspindlar: 2  Spindelmotor: 7,5kW variabelfrekvensmotor Hastighet: 0~6000rpm, steglöst justerbar Slitagehjulspecificering: Φ203mm Slitagehjulstyp: diamantslagagehjul | 
| Slitagehjulsförsystem  | Antal: 2 set  Metod för styra födosystem: LM-skivrail och bollskruv kombination Drivmotor: servomotor Minsta födosnabbhet: 0.1um/sec Högsta födosnabbhet: 50mm/sec | 
| Arbetsbänk    | Antal: 3, Indexläge  Spindelmotor: Servomotor Hastighet: 0~300varv/min, stegvis justerbar Adsorptionsmetod: Vacuumsorption | 
| Arbetsbänksroteringsplatta  | Drivläge: servomotor  Rotationsomfång: 0~240° Positioneringsform: sensorstödd positionering | 
| Automatisk tjocklek  mätningssystem | Mätmetod: IPG kontakt online realtidsmätning  Antal mäthuvuden: 2 Mätsensor: 0,1 µm nivåsensor | 
| Automatisk laddning/   avladdningssystem | Ladtyp: 6-8 tum Cassette, 25 lager  Metod för automatisk laddning/avladdning: wafermanipulator används för att säkerställa att tunna wafers transporteras utan skada Vaffertjocklek: 150um-1000um | 
| Arbetsyttas rensningsfunktion  | Rensningsmetod: Oljeplånbearbetning & DI-vatten+luft tvåfasig spölning  | 
| Automatisk rensning/  torkningssystem | Rensning: DIW-duschrensningsnozzel  Torkningsmetod: Blåsning +torkning Hastighet: max 1000rpm stegfritt justerbart | 
| Statisk eliminationssystem  | Jonstreck Orion ventilator  | 
| Spindelkylare  | Temperatur: 18-22°C  Flöde: 4~8L/min | 
| Kontrollsystem    | Styrsystem: PC-styrsystem, skärmtangentbord 3-färgsalarmlys  Kinesisk/Engelsk man-maskininteraktion | 
| Maximal plattstorlek  | Maximalt kompatibelt med 8 tum  | 
| Hastighetsområde  | 0~6000 OM/Min  | 
| Z-axelns rörelse    | 160mm    | 
| Förbränningshastighet på Z-axeln  | 0.1~100um/sec  | 
| Z-axel snabb retraktionshastighet  | 50mm/sec  | 
| Upplösning på Z-axeln  | 0.1um  | 
| Mätomfång för tjockleksmätning online  | 0~1800um  | 
| Upplösning för online-tjockleksmätning  | 0.1um  | 


Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. All Rights Reserved