EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
Introduktion: Denna utrustning består främst av en vakuumkammare av rostfritt stål, ett magnetron-sputtermål, en förångningsbeläggningsanordning, ett provbord för att placera prover, en vakuumppumpningsenhet, en vakuummätinstrument, ett luftintagsystem och ett styrsystem. Huvudenheten för utrustningen styrs via en pekskärm och övervakas av en temperaturkontrollmätare. Dess digitala parametergränssnitt och automatiserade drift ger användarna en utmärkt forsknings- och utvecklingsplattform. Vakuumkammaren har en bottenmonterad målkonstruktion och provbordet har uppvärmnings- och rotationsfunktioner, vilket gör beläggningsresultaten mer enhetliga. Vakuumgenereringssystemet för utrustningen använder en tvåstegs vakuumppumpgrupp. Första stegspumpen är en höghastighetsmekanisk pump som effektivt förkortar tiden från normalt tryck till lågt vakuum. Huvudpumpen är en turbomolekylär pump med hög pumpningshastighet och snabbare vakuumgenerering. Det totala vakuumgenereringssystemet är rent och snabbt.
Applikation: Kan användas för att framställa enskilda eller flerskikts ferroelektriska tunna filmer, ledande filmer, legeringsfilmer, halvledarfilmer, keramiska filmer, dielektriska filmer, optiska filmer m.m.
