Precision-CMP-system

MDAM-CMP100 / MDAM-CMP150

Precision-CMP-system

Utrustningsöversikt:

Precision-CMP-systemet används främst för slipning och tunnare av huvudsakliga halvledarchip, såsom kisel-, kiseldioxid- och indiumantimonid-bildplanschip, samt kemisk-mekanisk polering av botten, yta och ändyta.

Hela maskinen och alla delar av utrustningen är fullständigt korrosionsbeständiga, och processparametrarna kan ställas in via den interaktiva touchskärmsgränssnittet.

Bearbetningsbara provstorlekar:

Provstorlek ≤ 152 mm / 6 tum

Bearbetningsbar tjocklek är 50 μm – 10 mm

Uppnåbara processindikatorer:

1. Total tjockleksavvikelse (TTV) för φ75 mm wafer ligger inom 2 μm;

2. Total tjockleksavvikelse (TTV) för φ100 mm wafer ligger inom 3 μm;

3. Total tjockleksavvikelse (TTV) för φ150 mm wafer ligger inom 4 μm.

Typer av prov som kan behandlas:

Kisel, kiselkarbid, diamant, keramik, galliumnitrid, kvarts, galliumantimonid, indiumfosfid, galliumarsenid, kadmiumzinktellurid, kvicksilverkadmiumtellurid, litiumniobat och andra halvledarmaterial.

Utrustningens egenskaper:

1. Realisera funktionen för slutpunktsdetektering för att styra provets tjocklek.

2. Online, realtidsstyrning av slip- och polerplåtens temperatur samt kylningsfunktion.

3. Flerradig tillsättningsanläggning.

4. Automatisk spolningsfunktion för slip- och polerplåt.

5. Automatisk reparation av plåt.

6. Fästutrustningen är utrustad med ett digitalt tjockleksövervakningstabell med en övervakningsnoggrannhet på 0,1 μm.

Tekniska parametrar:

Utrustningskonfiguration:

Vanliga frågor

1. Om pris:

Alla våra priser är konkurrenskraftiga och förhandlingsbara. Priset varierar beroende på konfigurationen och komplexiteten av anpassningen av din enhet.

2. Om provproduktion:

Vi kan erbjuda provproduktions tjänster, men du kanske måste betala vissa avgifter.

3. Om Betalning:

När planen har bekräftats behöver du betala en förhandsbetalning först, och fabriken börjar då förbereda varorna. När utrustningen är klar och du har betalat restbeloppet skickar vi den.

4. Om leverans:

När tillverkningen av utrustningen är klar skickar vi dig en acceptansvideo, och du kan också komma till platsen för att inspektera utrustningen.

5. Installation och justering:

När utrustningen ankommer till din fabrik kan vi skicka ut ingenjörer för att installera och felsöka utrustningen. Vi kommer att ge dig ett separat offert för den här tjänstekostnaden.

6. Om garantin:

Vår utrustning har en garantiavtal på 12 månader. Efter garantiavtalet, om några delar skadas och behöver bytas ut, kommer vi endast att debitera kostnadspriset.

7. Efterförsäljningstjänst:

Alla maskiner har en garanti på över ett år. Våra tekniska ingenjörer är alltid online för att kunna erbjuda dig installation, felsökning och underhållsservice för din utrustning. Vi kan erbjuda service för montering och felsökning på plats för särskilda och stora anläggningar.