Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Hemsida
Om oss
MH Equipment
Lösning
Användare utomlands
Video
Kontakta oss
Hem> Plasma Rensningsmaskin
  • Mikrovågsplasmarensningmaskin / Mikrovågsplasmatextbehandlingseffekt
  • Mikrovågsplasmarensningmaskin / Mikrovågsplasmatextbehandlingseffekt
  • Mikrovågsplasmarensningmaskin / Mikrovågsplasmatextbehandlingseffekt
  • Mikrovågsplasmarensningmaskin / Mikrovågsplasmatextbehandlingseffekt
  • Mikrovågsplasmarensningmaskin / Mikrovågsplasmatextbehandlingseffekt
  • Mikrovågsplasmarensningmaskin / Mikrovågsplasmatextbehandlingseffekt
  • Mikrovågsplasmarensningmaskin / Mikrovågsplasmatextbehandlingseffekt
  • Mikrovågsplasmarensningmaskin / Mikrovågsplasmatextbehandlingseffekt
  • Mikrovågsplasmarensningmaskin / Mikrovågsplasmatextbehandlingseffekt
  • Mikrovågsplasmarensningmaskin / Mikrovågsplasmatextbehandlingseffekt
  • Mikrovågsplasmarensningmaskin / Mikrovågsplasmatextbehandlingseffekt
  • Mikrovågsplasmarensningmaskin / Mikrovågsplasmatextbehandlingseffekt

Mikrovågsplasmarensningmaskin / Mikrovågsplasmatextbehandlingseffekt

Produktbeskrivning

Mikrovågsplasma Rensningsmaskin

För förbearbetning av halvledarchip, plastpaketförbearbetning, fotoresistborttagning, metallförsäkring och förbearbetning.
Detta är ett lågvoltagesystem för mikrovågsplasmarensning av halvledare. Genom att tillämpa mikrovågor med frekvensen 2,45GHz på fönstret på väggen av vakuumkammaren genereras en stor mängd kontinuerligt Plasma, och chippet rensas genom att gå in i kammaren.
Fördelar
1. Plasma är obeordnat och orsakar ingen skada på cirkluster
2. Håll temperaturen låg under behandlingsprocessen
3. Snabb respons och kort reaktionstid
4. Inga elektroder, inga föroreningskällor, lång livslängd
5. Kan hålla plasma under hög tryck
6. Mikrovågsanslutningar och magnetkretsar är kompatibla
7. Låga krav på självbiasspanning
8. Den högspänningskällan och generatören är isolerade från varandra för säkerhet
9. Torkad etching, ingen föroreningskälla
Ansökan
Chipkopplingsförbehandling
Metallkopplingsförberedelse
Förbehandling innan plastförsegling
Waferytan aktivering

Dubbelt strömförsörjningsteknik Microwave + Bias RF:

Microwave uppnår utmärkta avlägsningshastighets- och jämnhetsegenskaper (fotoresist avlägsning), radiobased bias ger riktad kinetisk energi för plasma rörelse, och dubbelt strömförsörjningsteknik förbättrar effektiviteten och resultatet av halvledaravlägsning och etchning.
Specificitet
Vakuumplasshuvud
Utrustningsstorlek
1230X1800X1100mm (bredd x höjd x djup)
Vikt
450 kg
Strömbehov
AC380V, 50/60Hz, 5-tråd, 30A
Plasmageneratorns specifikationer
Mikrovågsströmkälla
Ström
0~1250W
Frekvens
2,45GHz
Vakuumsystem
Material
Aluminiumliggning (anpassningsbar rostfritt stålchamber)
Tjocklek
25 mm
Inre dimensioner av hyddan
480mmX470mmX480mm
Arbetsytor
6 tidskriftssektioner
ECR
Hålade tidskrifter ger ECR förbättrad bearbetningseffekt
Plasmakapacitet
Bearbetningsförmåga
35μm Pitch
40μm Bump
15X15mm Maximal Die storlek
Förpackning & Leverans
Fabriksutsikt
Företagsprofil
Minder-Hightech är försäljning och service representant inom utrustning för halvledar- och elektronikproduktsindustrin. Sedan 2014 har företaget ägnat sig åt att erbjuda kunderna Överlägsna, Pålitliga och Enskede Lösningar för maskinutrustning.
Vanliga frågor
1. Om pris:
Alla våra priser är konkurrenskraftiga och förhandlingsbara. Priset varierar beroende på konfigurationen och komplexiteten av anpassningen av din enhet.

2. Om provproduktion:
Vi kan erbjuda provproduktions tjänster, men du kanske måste betala vissa avgifter.

3. Om betalning:
När planen har bekräftats behöver du betala en förhandsbetalning först, och fabriken börjar då förbereda varorna. När utrustningen är klar och du har betalat restbeloppet skickar vi den.

4. Om leverans:
När tillverkningen av utrustningen är klar skickar vi dig en acceptansvideo, och du kan också komma till platsen för att inspektera utrustningen.

5. Installation och justering:
När utrustningen ankommer till din fabrik kan vi skicka ut ingenjörer för att installera och felsöka utrustningen. Vi kommer att ge dig ett separat offert för den här tjänstekostnaden.

6. Om garantin:
Vår utrustning har en garantiavtal på 12 månader. Efter garantiavtalet, om några delar skadas och behöver bytas ut, kommer vi endast att debitera kostnadspriset.

Fråga

Fråga Email WhatsApp Top
×

Kom i kontakt