MDZY-DMD-MLL200 DMD Maskless Lithography Machine , China MDZY-DMD-MLL200 DMD Maskless Lithography Machine Manufacturers, Suppliers, Factory

Produktbeskrivning

MDZY-DMD-MLL200
DMD Maskless Lithography-maskin

MDZY-DMD-MLL200 är en masklös litografiapparat baserad på DMD-teknik (Digital Micromirror Device). Genom att ersätta traditionella masker med en DMD möjliggörs snabb och flexibel design av litografimönster, med stöd för 2D- och 8-bitars gråskalelitografi. Den kan uppfylla alla mikrometer-skalelitografikrav och används brett inom områden som MEMS och mikrofluidik.

Funktioner

1. Kompakt skrivbordsdesign
2. Högpresterande, höguniform LED-belysningskälla
3. Grönt ljusstyrt exponering
4. Automatisk bildfokus med en CCD-kamera
5. Högprecisions linjär motorstage
6. Användarvänligt mjukvarugränssnitt

Parametrar

UV-ljuskällas centervåglängd	405nm
Exponeringsuniformitet	Mer än 90%
Minsta funktionens linjebredd	0,5um
Exponeringsarea för enskild skrivpass	0,16*0,16 mm (@0,5um)
Skrivhastighet	80 mm²/min (1um linjebredd)
Bildformat som stöds	DXF, GDS, bmp, png, etc.

Konfiguration

Konfiguration	Basversion	Professionell version
Ljuskälla	Högpresterande LED: 405 nm
DMD-chip	DLP6500
Exponeringsyta per fält	0,160,16 mm (@0,5 µm), 0,40,4 mm (@0,7 µm), 0,80,8 mm (@1 µm), 1,61,6 mm (@2 µm)
KAMERA	Mikroskopkamera för stora ytor (stödjer storleksmätning)
Minsta ekvidistant linjebredd	0,8 µm	0.5μm
Sammanfogningsnoggrannhet	±0,3 µm	±0,3 μm
Överlagra noggrannhet	±0,5 µm	±0,5 μm
Skrivhastighet	20 mm²/min (1 µm strukturlinjebredd)	80 mm²/min (1 µm strukturlinjebredd)
Rörelsebord	Högpresisions linjär motor (återupprepbar positioneringsnoggrannhet ±0,25 µm), nivelleringsmekanism, manuell roterande platta	Högpresisions linjär motor (återupprepbar positioneringsnoggrannhet ±0,25 µm), nivelleringsmekanism, elektrisk roterande platta
Objektivväxlare	Manuell objektivväxling	Motoriserad objektivväxling
Fokuseringsmodul	CCD-bild autofokus	Laseraktiv fokusering
Stödda waferstorlekar	4 tum	4 tum/8 tum
Provets tjocklek	0-10 mm	0–10 mm

Användningsfall

Mikrofluidikchip

DMD UV-litografering för överläggningsfunktionalitet

Ätning av tellurnanoraster följt av elektrodovertäckning

Gråskalelitografering av Fresnellinser, 3D-gråskalelitografering för Fresnellinser, visar kontinuerliga stegförändringar i tvärsnittsbilden från svepelektronmikroskopet.

Tvådimensionella materialelektroder, tvådimensionella materialelektroder efter avdunstning och avhuggning, avdunstade elektroder är Ti/Au/Ti (totalt 12 nm)

Kombinerad DMD UV- och elektronstrålelitografering

Programvara

Användare kan utföra alla litografioperationer från huvudgränssnittet utan några popup-fönster.

Bildbeskärningsmodul:

Inkluderar funktioner som anpassad beskärning, automatisk fyllning, färginversion och kantutjämning.

Objektbindning:

Användare kan sätta objektbindningar vid valfri plats på provytan och samtidigt förhandsgranska motsvarigheten mellan någon delbild i helscensbilden och provytan, vilket möjliggör exakt överläggning.

In-situ-ritfunktion:

Grafik kan ritas direkt på det mikroskopiska bilden och projiceras på provet för att uppnå in-situ fotolitografering.

Utrustningsfotografering

Förpackning & Leverans

Företagsprofil

Sedan 2014 är Minder-Hightech sälj- och servicepartner inom utrustning för halvledar- och elektronikproduktindustrin. Vi är engagerade i att erbjuda kunderna överlägsna, tillförlitliga och komplett lösningar för maskinutrustning. Fram till idag har våra produkter spridits till de största industrialiserade länderna i världen, vilket har hjälpt kunder att förbättra effektiviteten, minska kostnaderna och förbättra produktkvaliteten.

Vanliga frågor

1. Om pris:
Alla våra priser är konkurrenskraftiga och förhandlingsbara. Priset varierar beroende på konfigurationen och komplexiteten av anpassningen av din enhet.

2. Om provproduktion:
Vi kan erbjuda provproduktions tjänster, men du kanske måste betala vissa avgifter.

3. Om betalning:
När planen har bekräftats behöver du betala en förhandsbetalning först, och fabriken börjar då förbereda varorna. När utrustningen är klar och du har betalat restbeloppet skickar vi den.

4. Om leverans:
När tillverkningen av utrustningen är klar skickar vi dig en acceptansvideo, och du kan också komma till platsen för att inspektera utrustningen.

5. Installation och justering:
När utrustningen ankommer till din fabrik kan vi skicka ut ingenjörer för att installera och felsöka utrustningen. Vi kommer att ge dig ett separat offert för den här tjänstekostnaden.

6. Om garantin:
Vår utrustning har en garantiavtal på 12 månader. Efter garantiavtalet, om några delar skadas och behöver bytas ut, kommer vi endast att debitera kostnadspriset.

7. Efterförsäljningstjänst:
Alla maskiner har en garanti på över ett år. Våra tekniska ingenjörer är alltid online för att kunna erbjuda dig installation, felsökning och underhållsservice för din utrustning. Vi kan erbjuda service för montering och felsökning på plats för särskilda och stora anläggningar.

Hemsida

Om oss

MH Utrustning

Lösning

Användare Utomlands

Video

Kontakta oss

MDZY-DMD-MLL200 DMD Maskless Lithography Machine