MDLB-MC200 Fotomaskrengörare , China MDLB-MC200 Fotomaskrengörare Manufacturers, Suppliers, Factory

MDLB-MC200

Fotomaskrengöringsenhet

Rengöringsenhet:

Rensningskammaren bearbetas med korrosionsbeständiga material, vilka har en jämn yta och är enkla att rensa. Det finns en avloppsöppning längst ner i den inre kavvet, som utnyttjar gravitationen för att låta avfallsvätskan flöda in i fabriksavloppsrörledningen. Det finns en sugöppning inne i kavvet, vilken kan extrahera luften från kavvet på ett effektivt sätt. Utrustad med 3 automatiska svängarmar kan den utföra automatisk rensning.

Konfigurationsparameterstabell:

Nej.	Projekt	Specifikationer	Anmärkningar
1	Utrustningsöversikt	Enhetsnamn: Fotomaskinrensare
		Utrustningsmodell: MDLB-MC200
		Totala dimensioner (ungefär): 1300mm (B) * 1000mm (D) * 1950mm (H)
		Hela maskinvikten (ungefär): 300KG
		Arbetsytablshöjd: 900 ± 50mm
		Substratstorlekspecificeringar: lämplig för 2/4/5/6/8 tum kvadratmaskplåtar
		Processflöde: manuell platsiering av wafer → rensning (borste, rensningslösning → högtrycksvatten → megasoniskt vatten → deioniserat vatten → kvävegas torkning) → manuell waferförande
		Utrustningstyp: halvautomatisk, manuell laddning och avladdning
2	Utrustningskonstruktion	Skal: rostfritt stål, slätt, korrosionsmotståndig, enkel att rengöra
		Rensningskammare: PP, slätt, korrosionsmotståndig, enkel att rengöra
		Ledningsystem: PU/PFA-matchande ledningar används
		Arbetsbelysning: korrosionsmotståndig gul belysning
		Dörröppningsstil: Dubbdörr med dörröppningsvarningsfunktion
		Touchskärm: 10-tums färgtouchskärm * 1
		FFU: Klass 100
		Lekaget stöd för uttag: tillgänglig
3	Högprecisions servomotor	Antal: 1
		Hastighet: -3000~3000rpm	Tom last
		Maximal acceleration av spindelrotation: 3000rpm/S	Tom last
		Hastighetsnoggrannhet: ± 1rpm (50rpm~3000rpm)
		Hastighetsupplösning: 1rpm
4	Automatisk svängarm	Antal: 3
4	Automatisk svängarm	Svängarms hastighet: 1~30 °/S
5	Rengöringsenhet	Rensningsarm: 1 kanal av deioniserat vatten, 1 kanal av kvävegas Megasonisk Arm: 1 Megasonisk, 1 Högtrycksvatten Borstarm: 1 borste, 1 vatten, 1 rengöringslösning
		Rengöringsmetod: automatisk rengöring
		Deioniserat vatten sugfunktion: tillgänglig
		Spölning (deioniserat vatten): 1 väg
		Försörjningsmetod: Rengöringslösning: Membranpump Deioniserat vatten: levereras direkt av fabriken
		Trycktank med nivådetektering
6	Borstborste	Antal: 1 (med självrengöringsfunktion)
		Hastighet: upp till 1000 varv per minut, justerbar hastighet
		Höjd manuellt justerbar
7	Lastfat	Antal: 5
		Material: PPS+rostfritt stål
		Storlek: Lämplig för 2/4/5/6/8 tumma kvadratmaskplattor
		Substrathållningsmetod: Klavhållningsmetod
8	Kontrollsystem	Kontrollsystem: Använder PLC-kontroll
		Program: 100 grupper, varje grupp består av 100 steg, med maximalt enstegstid på 3000,0 sekunder Upplösning: 0,1S
		Programmet kan sparas, anropas, ändras och raderas
		Ställ in krypteringsbehörigheter: för enhetsoperatörer, tekniker, administratörer och tillverkare respektive
		Signalstapeltyp: rött, gult, grönt 3 färger