Modell: MDST-6100
ICP-torrplasmaaskaren är lämplig för tillämpningar såsom avskräpning (förbehandling och restmaterialborttagning), polymerborttagning (PI, BCB, PBO) samt fotolackborttagning efter jonimplantation; kammaren tar emot 8-tumsprover (med kompatibilitet för 4-tums och 6-tumsstorlekar).
ICP-torrplasmafotolackborttagare
ICP-torrplasmaaskaren är lämplig för tillämpningar såsom avskräpning (förbehandling och restmaterialborttagning), polymerborttagning (PI, BCB, PBO) samt fotolackborttagning efter jonimplantation; kammaren tar emot 8-tumsprover (med kompatibilitet för 4-tums och 6-tumsstorlekar).
Utseendet på utrustningen kan ändras kontinuerligt; den faktiskt levererade produkten är avgörande.
Fördel:
Hög grad av plasmajonisering och nedbrytning.
Efter plasmahantering är reproducerbarheten hög.
Torrätning, ingen föroreningskälla.
Styr tryck och temperatur via fjärilskvallrar.
Kan bibehålla plasma vid högt tryck
Separation av högspänningskälla och jongenerator
Mikrovågsanslutning och magnetkrets är kompatibla
Kan uppfylla kundkraven
Låg temperatur under bearbetning
Snabb svarshastighet och kort svarstid
Modell |
MDST6100 |
Plasmkälla |
radarfrekvens |
ström |
1000W |
Tillämpningsområde |
8 tum (kompatibel med 4 eller 6 tum) |
Lådstorlek |
25 stycken |
Totala mått |
L1696xB2170xH2146 mm |
Systemkontroll |
PLC |
Materialboxsystem |
Automatisk |
Verkliga foton av utrustning:
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
