ICP-torrplasmafotolackborttagare
ICP-torrplasmafotolackborttagaren används främst för borttagning av polymerer, askning, avlämning, borttagning av fotolack efter jonimplantation samt rengöring av ytresiduer. Kammaren MDST3100 tar emot prov på 4–8 tum med en kapacitet för ett enda vafers per behandling, medan kammaren MDST3200 tar emot prov på 4–8 tum med en kapacitet för två vafers per batch.
Utseendet på utrustningen kan ändras kontinuerligt; den faktiskt levererade produkten är avgörande.
Aschning
Polymerborttagning
DESCUM
Torrrengöring av hårdfilm.
Borttagning av fotoresist efter jonimplantation.
Ytorrester borttagning
Fotoresistborttagning i BAW/SAW-processen.
Torrrengöring av antireflektiv strukturfilm.
Ytstädning efter etchning
Fördel:
Hög grad av plasmajonisering och nedbrytning.
Efter plasmahantering är reproducerbarheten hög.
Torrätning, ingen föroreningskälla.
Styr tryck och temperatur via fjärilskvallrar.
Kan bibehålla plasma vid högt tryck
Separation av högspänningskälla och jongenerator
Mikrovågsanslutning och magnetkrets är kompatibla
Kan uppfylla kundkraven
Låg temperatur under bearbetning
Snabb svarshastighet och kort svarstid
Modell |
MDST3100 |
MDST3200 |
|
Plasmkälla |
RF |
RF |
|
Ström |
ICP |
1000W
|
1000W
|
BIAS |
NA |
NA |
|
Tillämpningsområde |
4–8 tum |
4–8 tum |
|
Antal wafers som bearbetas i en enda operation |
1 |
2 |
|
Totala mått |
1300x1190x1847 mm |
1300x1650x1850 mm |
|
Systemkontroll |
Industriell styrsystem |
||
graden av automatisering |
Automatisk |
||
Verkliga foton av utrustning ：
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
